[實用新型]晶圓運載盒

有效

• 申請號: 201920433437.2
• 申請日: 2019-04-01
• 公開（公告）號: CN209757895U
• 公開（公告）日: 2019-12-10
• 發明（設計）人: 邱銘隆;陳延方
• 申請（專利權）人: 中勤實業股份有限公司
• 主分類號: B65D25/10
• 分類號: B65D25/10
• 代理公司: 11355 北京泰吉知識產權代理有限公司
• 代理人: 張雅軍;史瞳

1.一種晶圓運載盒，包含：外殼及限位單元；該外殼包括底座及可分離地蓋合于該底座的上蓋；該限位單元包括設于該上蓋的上保持件及可拆離地設于該底座的卡匣件，該上保持件與該卡匣件適于共同將多個晶圓限位；其特征在于：

該上蓋具有第一導引部，該卡匣件具有第二導引部，該第二導引部與該第一導引部相配合以在該上蓋與該底座蓋合過程中導引該上蓋與該卡匣件相互對位。

2.根據權利要求1所述晶圓運載盒，其特征在于：該卡匣件具有兩個彼此相對且相間隔的限位壁，所述限位壁各具有壁本體及頂側凸緣，所述壁本體對應形成多個各自在上下方向延伸且彼此并排的溝槽，各該頂側凸緣自其相連的該壁本體靠近該上蓋的一端延伸且所述限位壁的所述頂側凸緣彼此往相反且相互遠離的方向延伸，該第二導引部形成于所述頂側凸緣上。

3.根據權利要求2所述晶圓運載盒，其特征在于：該上蓋還具有頂壁及連接該頂壁周側以與該底座相接的圍繞壁，該第一導引部包括兩個分別自該圍繞壁的兩相對的內表面朝向對側凸出并在該上下方向延伸且呈長條形的凸塊或凸肋，該第二導引部包括兩個分別形成于所述頂側凸緣且分別配合所述凸塊或凸肋的缺口。

4.根據權利要求3所述晶圓運載盒，其特征在于：各該頂側凸緣分別形成有兩個或以上的該缺口，該圍繞壁與各該頂側凸緣對應的內側分別設置或形成有至少一個與所述缺口之一對應的該凸塊或凸肋。

5.根據權利要求1所述晶圓運載盒，其特征在于：該第一導引部與該第二導引部的相對位置構造成在該上蓋與該底座蓋合過程中先于該上保持件與晶圓接觸前相互作用導引。

6.根據權利要求5所述晶圓運載盒，其特征在于：該第一導引部的底端相較于該上保持件的最低處更靠近該底座的底面。

7.根據權利要求5所述晶圓運載盒，其特征在于：該第二導引部相較于容置在該卡匣件的晶圓頂端更靠近該上蓋頂面。