[實用新型]一種平板式PECVD設備進出料腔

有效

• 申請號: 201920427282.1
• 申請日: 2019-03-29
• 公開（公告）號: CN210030881U
• 公開（公告）日: 2020-02-07
• 發明（設計）人: 唐電;張威;陳特超;楊彬;蘇衛中;李建志;吳易龍
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 43008 湖南兆弘專利事務所(普通合伙)
• 代理人: 周長清;徐好

1.一種平板式PECVD設備進出料腔，包括腔體(1)及與腔體(1)鉸接的腔蓋(2)，其特征在于：所述腔體(1)的底部設有下充氣嘴(3)，所述腔蓋(2)上設有上充氣嘴(4)，所述上充氣嘴(4)和所述下充氣嘴(3)對齊。

2.根據權利要求1所述的平板式PECVD設備進出料腔，其特征在于：所述上充氣嘴(4)上設有緩沖腔(41)，所述下充氣嘴(3)上端延伸至所述緩沖腔(41)內。

3.根據權利要求2所述的平板式PECVD設備進出料腔，其特征在于：所述緩沖腔(41)為圓錐狀，所述下充氣嘴(3)上端的直徑大于下端的直徑。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的平板式PECVD設備進出料腔，其特征在于：所述腔體(1)與所述腔蓋(2)之間還設有密封圈(6)。