[實用新型]一種半導體制程中氣體回路用高壓隔膜閥

有效

• 申請號: 201920422045.6
• 申請日: 2019-03-30
• 公開（公告）號: CN210106662U
• 公開（公告）日: 2020-02-21
• 發明（設計）人: 王漢清
• 申請（專利權）人: 江蘇閥邦半導體材料科技有限公司
• 主分類號: F16K7/00
• 分類號: F16K7/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種半導體制程中氣體回路用高壓隔膜閥，屬于閥門技術領域，包括閥門主體，閥門主體兩側的中間位置處設置有出氣口，且閥門主體的底部設置有進氣口，閥門主體底端內壁的兩側設置有擋板，且閥門主體兩側的底端轉動連接有貫穿至閥門主體內部的螺桿，閥門主體的頂部設置有貫穿至閥門主體內部的套管。本實用新型通過設置的復位彈簧推動連接柱向下運動，連接柱帶動堵頭向下運動，堵頭與擋板相互作用，完成一級密封，設置的螺桿推動隔膜拉伸，兩組隔膜相互作用使得密封效果更好，通過高壓氣體高壓提壓縮復位彈簧，使得堵頭離開擋板完成代開的目的，設置的連接桿旋轉帶動堵頭儲蓄向下，完成閥門的緊急關閉，從而簡化閥門開啟的步驟。

技術領域

本實用新型涉及閥門領域，具體為一種半導體制程中氣體回路用高壓隔膜閥。

背景技術

導體指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料，半導體在收音機、電視機以及測溫上有著廣泛的應用，如二極管就是采用半導體制作的器件，半導體是指一種導電性可受控制，范圍可從絕緣體至導體之間的材料，無論從科技或是經濟發展的角度來看，半導體的重要性都是非常巨大的，今日大部分的電子產品，如計算機、移動電話或是數字錄音機當中的核心單元都和半導體有著極為密切的關聯，常見的半導體材料有硅、鍺、砷化鎵等，而硅更是各種半導體材料中，在商業應用上最具有影響力的一種，在半導體加工過程中需要使用一種高壓閥門對氣體回路進行管控。

但是現如今的半導體制程中氣體回路用高壓隔膜閥密封效果不好，導致有氣體泄漏，影響其閥門的正常工作，而且打開步驟較為復雜，影響閥門打開與關閉的速率。

實用新型內容

本實用新型的目的在于：為了解決現如今的半導體制程中氣體回路用高壓隔膜閥密封效果不好，導致有氣體泄漏，影響其閥門的正常工作，而且打開步驟較為復雜，影響閥門打開與關閉的速率的問題，提供一種半導體制程中氣體回路用高壓隔膜閥。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種半導體制程中氣體回路用高壓隔膜閥，包括閥門主體，所述閥門主體兩側的中間位置處設置有出氣口，且閥門主體的底部設置有進氣口，所述閥門主體底端內壁的兩側設置有擋板，且閥門主體兩側的底端轉動連接有貫穿至閥門主體內部的螺桿，所述閥門主體的頂部設置有貫穿至閥門主體內部的套管，且套管的內部轉動連接有連接桿，所述連接桿的底部設置有空腔，且空腔的內部設置有復位彈簧，所述復位彈簧的末端設置有與空腔相配合的連接柱，且連接柱外側的底端設置有堵頭，所述擋板的外側設置有橡膠墊。

優選地，所述擋板的數目為四組，相鄰兩組所述擋板之間設置有隔膜。

優選地，所述螺桿的外側設置有外螺紋，且螺桿的末端為半球體，所述閥門主體與螺桿接觸的位置處設置有外螺紋。

優選地，所述套管與閥門主體之間通過螺栓可拆卸連接。

優選地，所述連接桿的外側設置有外螺紋，所述套管的內壁設置有與外螺紋相配合的內螺紋。

優選地，所述螺桿的首端設置有旋轉頭，所述連接桿的頂部固定有搖把。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：本實用新型通過設置的復位彈簧推動連接柱向下運動，連接柱帶動堵頭向下運動，堵頭與擋板相互作用，完成一級密封，設置的螺桿推動隔膜拉伸，兩組隔膜相互作用使得密封效果更好，通過高壓氣體高壓提壓縮復位彈簧，使得堵頭離開擋板完成代開的目的，設置的連接桿旋轉帶動堵頭儲蓄向下，完成閥門的緊急關閉，從而簡化閥門開啟的步驟。

附圖說明

圖1為本實用新型的內部結構示意圖；

圖2為本實用新型A的放大圖；

圖3為本實用新型B的放大圖。