[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體制程中氣體回路用高壓隔膜閥有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201920422045.6 | 申請(qǐng)日： | 2019-03-30 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN210106662U | 公開（公告）日： | 2020-02-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王漢清 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 江蘇閥邦半導(dǎo)體材料科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | F16K7/00 | 分類號(hào)： | F16K7/00 |
| 代理公司： | 暫無(wú)信息 | 代理人： | 暫無(wú)信息 |
| 地址： | 226014 江蘇*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 半導(dǎo)體 制程中 氣體 回路 高壓 隔膜 | ||
1.一種半導(dǎo)體制程中氣體回路用高壓隔膜閥，包括閥門主體（1），其特征在于：所述閥門主體（1）兩側(cè)的中間位置處設(shè)置有出氣口（2），且閥門主體（1）的底部設(shè)置有進(jìn)氣口（5），所述閥門主體（1）底端內(nèi)壁的兩側(cè)設(shè)置有擋板（7），且閥門主體（1）兩側(cè)的底端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有貫穿至閥門主體（1）內(nèi)部的螺桿（4），所述閥門主體（1）的頂部設(shè)置有貫穿至閥門主體（1）內(nèi)部的套管（11），且套管（11）的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有連接桿（10），所述連接桿（10）的底部設(shè)置有空腔（15），且空腔（15）的內(nèi)部設(shè)置有復(fù)位彈簧（14），所述復(fù)位彈簧（14）的末端設(shè)置有與空腔（15）相配合的連接柱（6），且連接柱（6）外側(cè)的底端設(shè)置有堵頭（3），所述擋板（7）的外側(cè)設(shè)置有橡膠墊（12）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體制程中氣體回路用高壓隔膜閥，其特征在于：所述擋板（7）的數(shù)目為四組，相鄰兩組所述擋板（7）之間設(shè)置有隔膜（13）。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體制程中氣體回路用高壓隔膜閥，其特征在于：所述螺桿（4）的外側(cè)設(shè)置有外螺紋，且螺桿（4）的末端為半球體，所述閥門主體（1）與螺桿（4）接觸的位置處設(shè)置有外螺紋。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體制程中氣體回路用高壓隔膜閥，其特征在于：所述套管（11）與閥門主體（1）之間通過(guò)螺栓（8）可拆卸連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體制程中氣體回路用高壓隔膜閥，其特征在于：所述連接桿（10）的外側(cè)設(shè)置有外螺紋，所述套管（11）的內(nèi)壁設(shè)置有與外螺紋相配合的內(nèi)螺紋。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體制程中氣體回路用高壓隔膜閥，其特征在于：所述螺桿（4）的首端設(shè)置有旋轉(zhuǎn)頭，所述連接桿（10）的頂部固定有搖把（9）。
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