[實用新型]一種半導體硅片干燥裝置

有效

• 申請號: 201920412513.1
• 申請日: 2019-03-29
• 公開（公告）號: CN209763670U
• 公開（公告）日: 2019-12-10
• 發明（設計）人: 鄭森平;江水德
• 申請（專利權）人: 衢州三盛電子有限公司
• 主分類號: F26B11/18
• 分類號: F26B11/18;F26B5/08;F26B21/00;F26B25/12;F26B25/18;H01L31/18
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本實用新型公開了一種半導體硅片干燥裝置，涉及硅片生產加工技術領域。包括底座，所述底座的內頂部固定連接有箱體，所述箱體的內底部固定連接有隔板，所述隔板的頂部兩端固定連接有軸承，且通過軸承從左至右分別活動連接有第一軸筒與第二軸筒。該半導體硅片干燥裝置，通過設置上安裝盤、下安裝盤及夾爪，實現了取放便捷、固定牢靠的優點，將硅片的上下兩端分別對應卡入至上安裝盤和下安裝盤上設置的夾爪內，來對硅片進行夾持固定，因夾爪可通過伸縮套桿的作用，能夠根據硅片的不同規格大小來調整上下夾爪間的間距，并通過伸縮彈簧來保持夾爪間的夾持力，同時取放也更加的方便，實用性強。

技術領域

本實用新型涉及硅片生產加工技術領域，具體為一種半導體硅片干燥裝置。

背景技術

太陽能電池板是通過吸收太陽光，將太陽輻射能通過光電效應或者光化學效應直接或間接轉換成電能的裝置，大部分太陽能電池板的主要材料為硅，相對于普通電池和可循環充電電池來說，太陽能電池屬于更節能環保的綠色產品，太陽能電池板的使用壽命由電池片、鋼化玻璃、EVA及TPT等的材質決定，一般會用好一點材料的廠家做出來的電池板使用壽命可以達到25年，但隨著環境的影響，太陽能電池板的材料會隨著時間的變化而老化

在太陽能硅片的生產加工過程中，需要對硅片進行干燥，現有技術中的硅片干燥機大多使用熱風干處理，由于硅片存在細小劃痕、凹痕，會產生殘留液體，及待干燥的硅片表面殘留的液體水膜表面張力較大，上述現有技術中的硅片干燥機對硅片的干燥效果差，且難以有效固定，而現有技術中還有利用超聲波信號除雜，但是超聲波通常需要在液體環境中應用，在對硅片干燥時難以應用。

實用新型內容

(一)解決的技術問題

針對現有技術的不足，本實用新型提供了一種半導體硅片干燥裝置，具備干燥效果好、取放便捷及固定牢靠等優點，解決了現有的干燥效果差，且難以有效固定的問題。

(二)技術方案

為實現上述干燥效果好、取放便捷及固定牢靠的目的，本實用新型提供如下技術方案：一種半導體硅片干燥裝置，包括底座，所述底座的內頂部固定連接有箱體，所述箱體的內底部固定連接有隔板，所述隔板的頂部兩端固定連接有軸承，且通過軸承從左至右分別活動連接有第一軸筒與第二軸筒，所述第一軸筒與第二軸筒的中部從上至下均固定連接有上安裝盤與下安裝盤，所述上安裝盤與下安裝盤的內側均固定連接有夾爪，所述箱體的兩側壁設有通風口，所述箱體的兩側固定連接有軸流風扇，所述箱體的頂部固定連接有箱蓋，所述箱蓋的左端頂部固定連接有驅動電機，所述驅動電機的輸出軸端部套接有主動輪，所述第一軸筒與第二軸筒的上端均套接有同步輪，所述同步輪通過同步帶與主動輪傳動連接，所述箱蓋的頂部固定連接有離心風機，所述離心風機的出風端固定連接有分流管，所述分流管的下部兩端均延伸至第一軸筒與第二軸筒內。

進一步優化本技術方案，所述箱體的內底部呈倒錐形，所述箱體的內頂部設有通孔，所述隔板的中部設有漏水孔，所述第一軸筒與第二軸筒的筒壁均設有氣孔，所述氣孔呈不規則狀分布。

進一步優化本技術方案，所述上安裝盤與下安裝盤呈等距均勻分布于第一軸筒與第二軸筒上，且上安裝盤與下安裝盤的數量均至少設有3對，所述夾爪呈環形分布于上安裝盤與下安裝盤上。

進一步優化本技術方案，所述夾爪包括伸縮套桿、伸縮彈簧及卡槽塊，所述伸縮套桿的一端與卡槽塊固定連接，所述伸縮彈簧套接于伸縮套桿外部，且伸縮彈簧的一端與卡槽塊相固定連接，另一端均與上安裝盤和下安裝盤的內側壁相固定連接。

進一步優化本技術方案，所述伸縮套桿包括活動桿和套管，活動桿的一端位于套管內部，通過拉動活動桿，使其在套管內部的大小不斷變化從而實現伸縮。

進一步優化本技術方案，所述通風口與軸流風扇的位置相對應，所述軸流風扇的外部設有防護罩，所述主動輪與同步輪處于同一水平線上。