[實用新型]一種緊湊高效異型件超厚膜層設備

有效

• 申請號: 201920402948.8
• 申請日: 2019-03-28
• 公開（公告）號: CN210193989U
• 公開（公告）日: 2020-03-27
• 發明（設計）人: 張佳
• 申請（專利權）人: 北京辰融科技有限責任公司
• 主分類號: C23C14/48
• 分類號: C23C14/48;C23C14/32
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種緊湊高效異型件超厚膜層設備，包括真空室殼體(9)，其特征在于：所述真空室殼體(9)上端固定焊接有第一分子泵法蘭接口(1)，所述真空室殼體(9)的前端右側和后側左側均固定焊接有金屬離子注入法蘭接口(2)，所述真空室殼體(9)的前端中部固定焊接有樣品導入法蘭接口(3)，所述真空室殼體(9)的前側左下部和右下部均焊接有磁過濾沉積法蘭接口，所述真空室殼體(9)的下端中部焊接有第二分子泵法蘭接口(5)，所述真空室殼體(9)的后端中部焊接有加熱管法蘭接口(6)，所述真空室殼體(9)的左側上部固定連接有自動觀察窗(7)，所述真空室殼體(9)的左側下部固定連接有抽真空管道連接法蘭(8)，所述磁過濾沉積法蘭接口(4)與磁過濾陰極弧法蘭座(10)相連，所述磁過濾陰極弧法蘭座(10)的內腔側壁固定連接有磁過濾陰極(11)，所述磁過濾陰極弧法蘭座(10)的下端固定連接有陽極筒(14)，所述陽極筒(14)的外側上下側套接有脈沖線包(12)、和聚焦線包(13)，所述陽極筒(14)的下端通過法蘭連接有磁過濾灣管(15)，所述磁過濾灣管(15)的外側上部套接有過渡線包(16)，所述磁過濾灣管(15)的外側中部和下部套接有高脈沖線包(17)，所述金屬離子注入法蘭接口(2)通過連接法蘭(19)連接離子發生裝置(18)，所述離子發生裝置(18)包括離子注入陰極靶(181)、輔助陽極板(182)、引出電極和加速電極(183)和聚焦電極(184)。

2.根據權利要求1所述的一種緊湊高效異型件超厚膜層設備，其特征在于：所述離子注入陰極靶(181)通過導線和第一電源串聯，所述輔助陽極板(182)和第二電源以及電阻串聯，所述第二電源和電阻并聯，所述電阻與加速電極(183)和聚焦電極(184)相連。

3.根據權利要求1所述的一種緊湊高效異型件超厚膜層設備，其特征在于：所述第一分子泵法蘭接口(1)和第二分子泵法蘭接口(5)上下對應設置，所述第一分子泵法蘭接口(1)和第二分子泵法蘭接口(5)通過管道連接分子泵。

4.根據權利要求1所述的一種緊湊高效異型件超厚膜層設備，其特征在于：所述加熱管法蘭接口(6)通過管道連接供熱設備，供熱設備為氣源加熱設備。

5.根據權利要求1所述的一種緊湊高效異型件超厚膜層設備，其特征在于：所述第一分子泵法蘭接口(1)、金屬離子注入法蘭接口(2)、樣品導入法蘭接口(3)、磁過濾沉積法蘭接口(4)、第二分子泵法蘭接口(5)、加熱管法蘭接口(6)和抽真空管道連接法蘭(8)均通過管道與真空室殼體(9)相連通，且各個所述管道上均設有開關閥。