[實(shí)用新型]TEM樣品桿及TEM機(jī)臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920396404.5
• 申請(qǐng)日: 2019-03-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209927733U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-01-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 熊嬌;李桂花;劉君芳;劉慧麗;李輝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/84
• 分類號(hào): G01N21/84;G01N21/01
• 代理公司: 31237 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 屈蘅

本實(shí)用新型提供了一種TEM樣品桿及TEM機(jī)臺(tái)。所述TEM樣品桿包括桿身、位于所述桿身的一端的樣品放置部、與所述桿身的另一端連接的手持部以及設(shè)置于所述手持部的氣泡平衡儀。應(yīng)用本實(shí)用新型提供的TEM樣品桿，可以監(jiān)控并以此調(diào)節(jié)實(shí)際操作過(guò)程中TEM樣品桿的水平度及角度，從而改善TEM機(jī)臺(tái)主體倉(cāng)破真空的問(wèn)題。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及透射電子顯微鏡技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種TEM樣品桿及TEM機(jī)臺(tái)。

背景技術(shù)

對(duì)于半導(dǎo)體器件的失效分析而言，透射電子顯微鏡(Transmission ElectronMicroscope，TEM)是不可或缺的分析儀器。利用TEM機(jī)臺(tái)對(duì)樣品進(jìn)行分析，需要將樣品薄片通過(guò)TEM樣品桿由TEM機(jī)臺(tái)的過(guò)渡倉(cāng)傳送到主體倉(cāng)中進(jìn)行拍攝，待拍攝完畢，將TEM樣品桿從樣品倉(cāng)中拔出并取出樣品，然后放入下一個(gè)樣品進(jìn)行拍攝，如此反復(fù)。

然而，使用目前的TEM樣品桿在傳輸樣品的過(guò)程中，利用了TEM樣品桿桿身上的O型密封圈與過(guò)渡倉(cāng)通道的緊密貼合來(lái)保證主體倉(cāng)的真空度，如果推送時(shí)TEM樣品桿不夠水平，O型密封圈與過(guò)渡倉(cāng)之間會(huì)由于貼合度不夠而出現(xiàn)縫隙，從而導(dǎo)致主體倉(cāng)破真空。在破真空狀態(tài)下，TEM機(jī)臺(tái)無(wú)法進(jìn)行樣品的拍攝，不僅耽誤測(cè)樣的時(shí)間，影響TEM機(jī)臺(tái)的使用效率，造成樣品積壓，且頻繁的破真空易損耗TEM機(jī)臺(tái)的性能。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種TEM樣品桿及TEM機(jī)臺(tái)，以保持TEM樣品桿水平度進(jìn)而改善主體倉(cāng)破真空的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種TEM樣品桿，包括桿身、位于所述桿身的一端的樣品放置部、與所述桿身的另一端連接的手持部以及設(shè)置于所述手持部的氣泡平衡儀。

可選的，所述手持部為圓柱形結(jié)構(gòu)，且一端部與所述桿身的另一端連接。

可選的，所述氣泡平衡儀為環(huán)形結(jié)構(gòu)，且套設(shè)于所述手持部的外周壁。

可選的，所述氣泡平衡儀為圓盤形結(jié)構(gòu)，且設(shè)于所述手持部的自由端，所述氣泡平衡儀的軸線與所述手持部的軸線相重合。

可選的，所述氣泡平衡儀的外周壁設(shè)有沿周向延伸的安全標(biāo)記線，用于衡量所述TEM樣品桿的水平度。

可選的，所述安全標(biāo)記線的數(shù)量為2個(gè)，且兩條所述安全標(biāo)記線互相平行。

可選的，所述手持部的外周壁設(shè)有沿周向布置的多個(gè)標(biāo)記，用于標(biāo)識(shí)出所述TEM樣品桿在使用過(guò)程中所述氣泡平衡儀中氣泡相對(duì)于所述手持部的位置。

可選的，所述手持部的外周壁設(shè)有沿周向均勻分布的刻度線標(biāo)記。

可選的，所述手持部的外周壁設(shè)有兩處位置標(biāo)記，其中一處位置標(biāo)記用于標(biāo)識(shí)將所述TEM樣品桿插入一過(guò)渡倉(cāng)時(shí)所述氣泡平衡儀中氣泡相對(duì)于所述手持部的位置，另一處位置標(biāo)記用于標(biāo)識(shí)旋轉(zhuǎn)所述TEM樣品桿完畢后所述氣泡平衡儀中氣泡相對(duì)于所述手持部的位置。

本實(shí)用新型還提供了一種TEM機(jī)臺(tái)，包括一過(guò)渡倉(cāng)、一主體倉(cāng)、設(shè)置于所述過(guò)渡倉(cāng)和所述主體倉(cāng)之間的球閥、以及配置有如上任一項(xiàng)所述的TEM樣品桿。

綜上所述，本實(shí)用新型提供了一種TEM樣品桿及TEM機(jī)臺(tái)，通過(guò)觀察設(shè)置在手持部的氣泡平衡儀，可以監(jiān)控操作過(guò)程中TEM樣品桿的水平度，改善因水平度不夠?qū)е轮黧w倉(cāng)破真空的問(wèn)題，減少TEM機(jī)臺(tái)停機(jī)時(shí)間，從而減少樣品積壓，同時(shí)降低對(duì)TEM機(jī)臺(tái)性能的損耗。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的一種TEM樣品桿的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2A是表示圖1所示TEM樣品桿在水平時(shí)氣泡所在位置的示意圖；

圖2B是表示圖1所示TEM樣品桿在向后傾斜時(shí)氣泡所在位置的示意圖；