[實用新型]TEM樣品桿及TEM機臺有效
| 申請號： | 201920396404.5 | 申請日： | 2019-03-26 |
| 公開（公告）號： | CN209927733U | 公開（公告）日： | 2020-01-10 |
| 發明（設計）人： | 熊嬌;李桂花;劉君芳;劉慧麗;李輝 | 申請（專利權）人： | 武漢新芯集成電路制造有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/84 | 分類號： | G01N21/84;G01N21/01 |
| 代理公司： | 31237 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 桿身 本實用新型 機臺 機臺主體 樣品放置 一端連接 平衡儀 破真空 水平度 監控 應用 | ||
1.一種TEM樣品桿，其特征在于，包括桿身、位于所述桿身的一端的樣品放置部、與所述桿身的另一端連接的手持部以及設置于所述手持部的氣泡平衡儀。
2.如權利要求1所述的TEM樣品桿，其特征在于，所述手持部為圓柱形結構，且一端部與所述桿身的另一端連接。
3.如權利要求2所述的TEM樣品桿，其特征在于，所述氣泡平衡儀為環形結構，且套設于所述手持部的外周壁。
4.如權利要求2所述的TEM樣品桿，其特征在于，所述氣泡平衡儀為圓盤形結構，且設于所述手持部的自由端，所述氣泡平衡儀的軸線與所述手持部的軸線相重合。
5.如權利要求3或4所述的TEM樣品桿，其特征在于，所述氣泡平衡儀的外周壁設有沿周向延伸的安全標記線，用于衡量所述TEM樣品桿的水平度。
6.如權利要求5所述的TEM樣品桿，其特征在于，所述安全標記線的數量為2個，且兩條所述安全標記線互相平行。
7.如權利要求3或4所述的TEM樣品桿，其特征在于，所述手持部的外周壁設有沿周向布置的多個標記，用于標識出所述TEM樣品桿在使用過程中所述氣泡平衡儀中氣泡相對于所述手持部的位置。
8.如權利要求7所述的TEM樣品桿，其特征在于，所述手持部的外周壁設有沿周向均勻分布的刻度線標記。
9.如權利要求7所述的TEM樣品桿，其特征在于，所述手持部的外周壁設有兩處位置標記，其中一處位置標記用于標識將所述TEM樣品桿插入一過渡倉時所述氣泡平衡儀中氣泡相對于所述手持部的位置，另一處位置標記用于標識旋轉所述TEM樣品桿完畢后所述氣泡平衡儀中氣泡相對于所述手持部的位置。
10.一種TEM機臺，其特征在于，包括一過渡倉、一主體倉、設置于所述過渡倉和所述主體倉之間的球閥、以及配置有如權利要求1-9中任一項所述的TEM樣品桿。
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