[實(shí)用新型]一種化學(xué)藥液混合裝置及濕法刻蝕裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920391750.4
• 申請(qǐng)日: 2019-03-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211159328U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-08-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王春偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號(hào): B01F7/00
• 分類號(hào): B01F7/00;H01L21/67
• 代理公司: 上海申新律師事務(wù)所 31272
• 代理人: 俞滌炯

1.一種化學(xué)藥液混合裝置，應(yīng)用于濕法刻蝕裝置，其特征在于，包括：

一攪拌器，所述攪拌器設(shè)置于一混合容器內(nèi)，所述混合容器的一端連接復(fù)數(shù)個(gè)化學(xué)液容器，所述混合容器的另一端連接一清洗槽；

一發(fā)動(dòng)機(jī)，所述發(fā)動(dòng)機(jī)的輸出端連接所述攪拌器的輸入端。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)藥液混合裝置，其特征在于，所述發(fā)動(dòng)機(jī)的輸入端連接一外接電源。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)藥液混合裝置，其特征在于，所述發(fā)動(dòng)機(jī)的輸入端還設(shè)有一調(diào)頻器。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)藥液混合裝置，其特征在于，所述外接電源包括直流電源或交流電源。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的化學(xué)藥液混合裝置，其特征在于，所述調(diào)頻器連接控制終端。

6.一種濕法刻蝕裝置，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-5中任一所述的化學(xué)藥液混合裝置。