[實用新型]用于半導體濕法工藝中的化學品在線加熱器

有效

• 申請號: 201920385539.1
• 申請日: 2019-03-25
• 公開（公告）號: CN209930536U
• 公開（公告）日: 2020-01-10
• 發明（設計）人: 王靜強;黃錫欽
• 申請（專利權）人: 昆山基侑電子科技有限公司
• 主分類號: H05B3/78
• 分類號: H05B3/78
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型提供了一種包括包括外殼、內殼、盤管和加熱線圈的用于半導體濕法工藝中的化學品在線加熱器，所述內殼安裝于外殼中，兩者之間填充有保溫棉；所述盤管的螺旋管部位于所述內殼中，兩根入液管位于所述外殼的外部，所述加熱線圈的加熱絲位于所述內殼中，電連接部位于所述外殼的外部，盤管延長了化學品被加熱的路徑以及加熱器的同時加熱量，提高了加熱器的加熱速度；所述外殼、內殼、盤管均由316等級的不銹鋼制成，所述盤管的內管壁涂布有PFA涂層。本實用新型中的外殼、內殼和盤管均由316等級的不銹鋼焊接制成，盤管內壁涂布PFA涂層，導熱性能佳，能實現化學品的快速加熱，保證了化學品的潔凈度。

技術領域

本實用新型涉及半導體生產設備技術領域，特別是指用于半導體濕法工藝中的化學品在線加熱器。

背景技術

半導體濕法工藝過程中化學品因特殊的工藝要求，這些化學品需要快速加速并保持潔凈度。當前化學品加熱是把電爐絲加熱器直接放置在化學品中加熱，或者是通過加熱水，利用管路循環在化學品中間接加熱，主要存在以下缺陷：1、直接投放加熱器，加熱器容易老化和損壞；2、加熱器表面潔凈度達不到要求，會給化學品造成污染，影響晶圓的良率或者直接報廢；3、用水或者其他介質通過管路間接加熱，消耗能耗大，濕度控制精度差，影響芯片生產良率或者直接報廢。

實用新型內容

本實用新型的目的在于針對現有技術的上述不足和缺陷，提供一種用于半導體濕法工藝中的化學品在線加熱器，以解決上述問題。

為解決上述技術問題，本實用新型的技術方案如下：

用于半導體濕法工藝中的化學品在線加熱器，包括外殼、內殼、盤管和加熱線圈；所述內殼安裝于外殼中，兩者之間填充有保溫棉；所述盤管的螺旋管部位于所述內殼中，兩根入液管位于所述外殼的外部；所述加熱線圈的加熱絲位于所述內殼中，電連接部位于所述外殼的外部；所述外殼、內殼、盤管均由316等級的不銹鋼制成，所述盤管的內管壁涂布有PFA涂層。

在本實用新型的一個優選實施例中，所述外殼包括殼體和殼蓋，所述加熱線圈的電連接端固定于所述殼蓋中。

在本實用新型的一個優選實施例中，所述內殼中設置有用于支撐所述盤管的支撐柱。

進一步的是，所述支撐柱的兩端均設置有螺牙孔，支撐柱的一端抵接在所述內殼底部并以螺栓固定，另一端抵接在所述殼蓋上并以螺栓固定。

在本實用新型的一個優選實施例中，所述內殼的底部設置有螺柱，所述外殼的底部對應所述螺柱處設置有通孔，以一螺栓鎖進螺柱中將所述內殼與外殼固連。

在本實用新型的一個優選實施例中，所述盤管的兩根入液管均安裝于所述殼蓋中。

進一步的是，所述殼蓋對應入液管處設置有密封環，所述入液管從所述密封環中穿過。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

1.本實用新型中的外殼、內殼和盤管均由316等級的不銹鋼焊接制成，密封性能良好，導熱性能佳，能實現化學品的快速加熱；

2.本實用新型在盤管內壁涂布PFA涂層，保證了化學品的潔凈度；

3.本實用新型在內殼與外殼之間填充保溫棉，可防止加熱溫度透出傷人，減少熱量損失，提高了加熱速率；

4.本實用新型中的盤管延長了化學品被加熱的路徑以及加熱器的同時加熱量，不僅提高了加熱器的加熱速度，還實現了化學品供應量滿足制程需求的目的。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。

圖1是實施例中公開的用于半導體濕法工藝中的化學品在線加熱器的立體圖；