[實用新型]用于半導體濕法工藝中的化學品在線加熱器

有效

• 申請號: 201920385539.1
• 申請日: 2019-03-25
• 公開（公告）號: CN209930536U
• 公開（公告）日: 2020-01-10
• 發明（設計）人: 王靜強;黃錫欽
• 申請（專利權）人: 昆山基侑電子科技有限公司
• 主分類號: H05B3/78
• 分類號: H05B3/78
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.用于半導體濕法工藝中的化學品在線加熱器，其特征在于，包括外殼、內殼、盤管和加熱線圈；所述內殼安裝于外殼中，兩者之間填充有保溫棉；所述盤管的螺旋管部位于所述內殼中，兩根入液管位于所述外殼的外部；所述加熱線圈的加熱絲位于所述內殼中，電連接部位于所述外殼的外部；所述外殼、內殼、盤管均由316等級的不銹鋼制成，所述盤管的內管壁涂布有PFA涂層。

2.根據權利要求1所述的用于半導體濕法工藝中的化學品在線加熱器，其特征在于，所述外殼包括殼體和殼蓋，所述加熱線圈的電連接端固定于所述殼蓋中。

3.根據權利要求2所述的用于半導體濕法工藝中的化學品在線加熱器，其特征在于，所述內殼中設置有用于支撐所述盤管的支撐柱。

4.根據權利要求3所述的用于半導體濕法工藝中的化學品在線加熱器，其特征在于，所述支撐柱的兩端均設置有螺牙孔，支撐柱的一端抵接在所述內殼底部并以螺栓固定，另一端抵接在所述殼蓋上并以螺栓固定。

5.根據權利要求1所述的用于半導體濕法工藝中的化學品在線加熱器，其特征在于，所述內殼的底部設置有螺柱，所述外殼的底部對應所述螺柱處設置有通孔，以一螺栓鎖進螺柱中將所述內殼與外殼固連。

6.根據權利要求2所述的用于半導體濕法工藝中的化學品在線加熱器，其特征在于，所述盤管的兩根入液管均安裝于所述殼蓋中。

7.根據權利要求6所述的用于半導體濕法工藝中的化學品在線加熱器，其特征在于，所述殼蓋對應入液管處設置有密封環，所述入液管從所述密封環中穿過。