[實用新型]一種片盒旋轉平臺

有效

• 申請號: 201920385113.6
• 申請日: 2019-03-26
• 公開（公告）號: CN209561361U
• 公開（公告）日: 2019-10-29
• 發明（設計）人: 王靜強;黃錫欽
• 申請（專利權）人: 昆山基侑電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/687
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種片盒旋轉平臺，包括基座、連接座、驅動電機、以及用于放置晶圓片的盒體，盒體于基座上方設置，連接座固定設于基座底部，驅動電機一端連接有輸出軸，輸出軸的自由端連接有蝸輪，驅動電機驅動蝸輪轉動，蝸輪底部嚙合連接有蝸桿，連接座前方設有齒輪，蝸輪帶動齒輪轉動，本實用新型與機械手配合上料，當機械手要取放晶圓片時，盒體會自動旋轉至與機械手平行的角度,讓機械手可以安全地取放晶圓片。

技術領域

本實用新型涉及半導體技術領域，尤其涉及一種片盒旋轉平臺。

背景技術

在半導體工藝過程中操作員經常將晶圓片盒體置放于設備機械手取放區, 這樣很容易發生晶圓片因人為操作或震動等因素導致晶圓脫落，從而造成晶圓片的損壞，造成不必要的經濟損失。

實用新型內容

實用新型目的：為了解決背景技術中存在的不足，所以本實用新型提供了一種片盒旋轉平臺。

技術方案：一種片盒旋轉平臺，包括基座、連接座、驅動電機、以及用于放置晶圓片的盒體，所述盒體于所述基座上方設置，所述連接座固定設于所述基座底部，所述驅動電機一端連接有輸出軸，所述輸出軸的自由端連接有蝸輪，所述驅動電機驅動蝸輪轉動，所述蝸輪底部嚙合連接有蝸桿，所述連接座前方設有齒輪，所述蝸輪帶動齒輪轉動。

優選的，所述基座為框架結構。

優選的，所述基座一側邊頂部設有夾持機構。

優選的，所述夾持機構包括氣缸、以及與氣缸連接的吸盤。

優選的，所述齒輪為扇形齒輪。

優選的，所述連接座可轉動的角度為0-90°。

本實用新型實現以下有益效果：

1.本實用新型通過在基座一側頂部設置夾持機構，能夠將盒體夾緊于基座上方，從而有效的避免了連接座在旋轉的過程中有晶圓片掉落。

2.驅動電機在帶動蝸輪轉動的同時，齒輪也會跟隨著蝸輪一起轉動，進而能夠實現基座整體轉動，這樣不僅可以配合機械手進行角度調整，而且還能提高工作效率。

附圖說明

此處的附圖被并入說明書中并構成本說明書的一部分，示出了符合本公開的實施例，并與說明書一起用于解釋本公開的原理。

圖1為本實用新型提供的整體結構示意圖。

圖2為本實用新型提供的平面結構示意圖。

圖中：1.基座、2.連接座、3.驅動電機、4.盒體、5.蝸輪、6.齒輪、7.夾持機構。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。

實施例一

參考圖1-2，一種片盒旋轉平臺，包括基座1、連接座2、驅動電機3、以及用于放置晶圓片的盒體4，盒體4于基座1上方設置，連接座2固定設于基座1 底部，驅動電機3一端連接有輸出軸，輸出軸的自由端連接有蝸輪5，驅動電機 3驅動蝸輪5轉動，蝸輪5底部嚙合連接有蝸桿，連接座2前方設有齒輪6，蝸輪帶動齒輪6轉動。

基座1為框架結構。

基座1一側邊頂部設有夾持機構7。

夾持機構7包括氣缸、以及與氣缸連接的吸盤。

齒輪6為扇形齒輪6。

連接座2可轉動的角度為0-90°。