[實用新型]一種片盒旋轉平臺有效

申請號：	201920385113.6	申請日：	2019-03-26
公開（公告）號：	CN209561361U	公開（公告）日：	2019-10-29
發明（設計）人：	王靜強;黃錫欽	申請（專利權）人：	昆山基侑電子科技有限公司
主分類號：	H01L21/677	分類號：	H01L21/677;H01L21/687
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	215000 江蘇省蘇州市***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	機械手驅動電機連接座蝸輪本實用新型旋轉平臺晶圓片輸出軸盒體片盒取放轉動帶動齒輪嚙合連接驅動蝸輪一端連接自動旋轉自由端齒輪晶圓上料蝸桿平行配合
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【權利要求書】：

1.一種片盒旋轉平臺，包括基座(1)、連接座(2)、驅動電機(3)、以及用于放置晶圓片的盒體(4)，其特征在于，所述盒體(4)于所述基座(1)上方設置，所述連接座(2)固定設于所述基座(1)底部，所述驅動電機(3)一端連接有輸出軸，所述輸出軸的自由端連接有蝸輪(5)，所述驅動電機(3)驅動蝸輪(5)轉動，所述蝸輪(5)底部嚙合連接有蝸桿，所述連接座(2)前方設有齒輪(6)，所述蝸輪帶動齒輪(6)轉動。

2.根據權利要求1所述的一種片盒旋轉平臺，其特征在于，所述基座(1)為框架結構。

3.根據權利要求1所述的一種片盒旋轉平臺，其特征在于，所述基座(1)一側邊頂部設有夾持機構(7)。

4.根據權利要求3所述的一種片盒旋轉平臺，其特征在于，所述夾持機構(7)包括氣缸、以及與氣缸連接的吸盤。

5.根據權利要求1所述的一種片盒旋轉平臺，其特征在于，所述齒輪(6)為扇形齒輪(6)。

6.根據權利要求1所述的一種片盒旋轉平臺，其特征在于，所述連接座(2)可轉動的角度為0-90°。

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