[實用新型]拾取結(jié)構(gòu)、拾取機構(gòu)及拾取模塊

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920373438.2
• 申請日: 2019-03-22
• 公開（公告）號: CN209766386U
• 公開（公告）日: 2019-12-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 賀云波;王波;劉青山;劉鳳玲;陳桪
• 申請（專利權(quán)）人: 廣東阿達智能裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 44224 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司
• 代理人: 周修文;曾旻輝

本實用新型公開了一種拾取結(jié)構(gòu)、拾取機構(gòu)及拾取模塊，將支撐件裝入安裝孔中，并通過第一限位件與第一安裝座限位配合，使得支撐件穩(wěn)定支撐在安裝孔中；接著，在支撐件與第一安裝座之間設(shè)置彈性件，使得支撐件能夠在安裝孔中彈性移動。如此，當吸嘴與晶圓抵觸時，支撐件則受到擠壓力，使得彈性件發(fā)生彈性變形，一旦彈性件發(fā)生彈性變形時，支撐件則帶動吸嘴在安裝孔中往回移動，如此，有效避免吸嘴直接與晶圓剛性抵觸而導致晶圓發(fā)生破碎而損壞。同時，由于支撐件與第一安裝座之間設(shè)有彈性件，因此，在彈性件的作用下，吸嘴能夠與晶圓保持緊密接觸狀態(tài)。當開啟吸氣設(shè)備時，通過吸取通道，使得吸嘴與晶圓之間形成真空，從而使得吸嘴能夠安全吸取晶圓。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及拾取技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及拾取結(jié)構(gòu)、拾取機構(gòu)及拾取模塊。

背景技術(shù)

隨著工業(yè)迅速發(fā)展，越來越多的拾取模塊運用在工業(yè)生產(chǎn)中，通過拾取模塊代替?zhèn)鹘y(tǒng)的人工取放操作。比如在半導體制造工藝中，半導體后封裝過程中，需要將晶圓轉(zhuǎn)移至加熱后的基板上，以使得晶圓與基板進行鍵合操作。然而，傳統(tǒng)的拾取模塊在拾取過程中，往往無法準確定位出晶圓的位置，導致拾取模塊的吸嘴很容易撞在晶圓上，從而導致晶圓破碎而損壞。

實用新型內(nèi)容

基于此，有必要提供一種拾取結(jié)構(gòu)、拾取機構(gòu)及拾取模塊，它能夠安全吸取晶圓。

其技術(shù)方案如下：

一種拾取結(jié)構(gòu)，包括：第一安裝座，所述第一安裝座上設(shè)有安裝孔；與吸取組件，所述吸取組件包括支撐件、彈性件及均裝設(shè)在所述支撐件上的第一限位件與吸嘴，所述支撐件穿入所述安裝孔中，所述第一限位件與所述第一安裝座限位配合，所述支撐件上設(shè)有吸取通道，所述吸嘴通過所述吸取通道用于與吸氣設(shè)備連通，所述彈性件設(shè)置在所述支撐件與所述第一安裝座之間。

上述的拾取結(jié)構(gòu)，將支撐件裝入安裝孔中，并通過第一限位件與第一安裝座限位配合，使得支撐件穩(wěn)定支撐在安裝孔中；接著，在支撐件與第一安裝座之間設(shè)置彈性件，使得支撐件能夠在安裝孔中彈性移動。如此，當吸嘴與晶圓抵觸時，支撐件則受到擠壓力，使得彈性件發(fā)生彈性變形，一旦彈性件發(fā)生彈性變形時，支撐件則帶動吸嘴在安裝孔中往回移動，如此，有效避免吸嘴直接與晶圓剛性抵觸而導致晶圓發(fā)生破碎而損壞。同時，由于支撐件與第一安裝座之間設(shè)有彈性件，因此，在彈性件的作用下，吸嘴能夠與晶圓保持緊密接觸狀態(tài)。當開啟吸氣設(shè)備時，通過吸取通道，使得吸嘴與晶圓之間形成真空，從而使得吸嘴能夠安全吸取晶圓。

在其中一個實施例中，所述安裝孔為兩個以上，所述吸取組件為兩個以上，所述吸取組件與所述安裝孔一一對應設(shè)置，兩個以上的所述安裝孔間隔設(shè)置在所述第一安裝座上。

在其中一個實施例中，相鄰兩個所述安裝孔相互連通設(shè)置，相鄰兩個所述吸取組件之間的間距可調(diào)。

在其中一個實施例中，所述吸取組件還包括裝設(shè)在所述支撐件上的第二限位件，所述第二限位件與所述第一限位件分別位于所述第一安裝座相對兩側(cè)，所述第二限位件與所述第一安裝座限位配合。

在其中一個實施例中，拾取結(jié)構(gòu)還包括密封件，所述吸取通道內(nèi)設(shè)有抵觸部，所述吸嘴裝入所述吸取通道中，并與所述抵觸部抵觸配合，所述密封件設(shè)置在所述抵觸部與所述吸嘴之間。

在其中一個實施例中，所述第一安裝座包括底座及間隔裝設(shè)在所述底座上的第一安裝件與所述第二安裝件，所述安裝孔貫穿所述第一安裝件與所述第二安裝件設(shè)置，所述第一限位件與所述第一安裝件限位配合，所述彈性件設(shè)置在所述第一安裝件與所述支撐件之間。

在其中一個實施例中，吸取組件還包括滑套，所述支撐件通過所述滑套裝設(shè)在所述安裝孔的孔壁上，且所述支撐件能在所述滑套內(nèi)來回移動。

在其中一個實施例中，第一安裝座上設(shè)有視覺組件。

一種拾取機構(gòu)，包括驅(qū)動件與以上所述的拾取結(jié)構(gòu)，所述驅(qū)動件的輸出端與所述第一安裝座傳動連接。