[實用新型]一種微孔陶瓷吸附載臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920370015.5
• 申請日: 2019-03-21
• 公開（公告）號: CN210046549U
• 公開（公告）日: 2020-02-11
• 發(fā)明（設計）人: 謝圣君;王昌焱;徐新峰;房用橋;李士杰;范吉鵬;孫左峰;萬柯;湯治飛;湯華斌;范祥鑫;劉振強;謝飛;張董潔;呂啟濤;高云峰
• 申請（專利權）人: 大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團股份有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00;G02F1/13
• 代理公司: 44312 深圳市恒申知識產(chǎn)權事務所(普通合伙)
• 代理人: 趙勝寶

本實用新型適用于液晶顯示面板加工領域，提供了一種微孔陶瓷吸附載臺，該微孔陶瓷吸附載臺由N個微孔陶瓷吸附載臺單元拼接組成，N為大于1的正整數(shù)，每個微孔陶瓷吸附載臺單元包括載臺底座、微孔陶瓷吸附塊和填充塊，其中，微孔陶瓷吸附塊間隔地安裝在載臺底座的頂面上，填充塊安裝在微孔陶瓷吸附塊之間的間隙中。每個微孔陶瓷吸附載臺單元可用于單獨吸附加工件，而由多個微孔陶瓷吸附載臺單元拼接成的微孔陶瓷吸附載臺，其吸附面積增大，適用于對不同尺寸規(guī)格的加工件進行吸附。

技術領域

本實用新型屬于液晶顯示面板加工領域，尤其涉及一種微孔陶瓷吸附載臺。

背景技術

一般在液晶顯示面板加工制程中，通常會利用一載臺來承載及固定該液晶顯示面板，以方便制程作業(yè)。早期用于承載液晶顯示面板的載臺結構為金屬材質，且頂面具有多數(shù)負壓氣孔，而一側面具有與該多數(shù)負壓氣孔相連通的一氣口供與一負壓裝置連接，然后可利用該負壓裝置使該負壓氣孔產(chǎn)生吸力以供將該液晶顯示面板吸附固定在該載臺上以便于液晶顯示面板各制程的作業(yè)。但由于金屬載臺具有導熱及導電性，當其承載液晶顯示面板進行摩擦(Rubbing)等制程作業(yè)時，會產(chǎn)生較大的溫度變化，從而影響到液晶配向，進而使得Rubbing 的質量與密度不易控制。而且，該金屬載臺承載該液晶顯示面板進行Rubbing等制程作業(yè)時，會產(chǎn)生較大的摩擦力，易使液晶顯示面板產(chǎn)生磨損。

作為改進，現(xiàn)在各種半導體生產(chǎn)過程中常用微孔陶瓷板作為吸附及承載的專用工具，微孔陶瓷是一種在陶瓷內部或表面含有大量開口或微小氣孔的陶瓷體，其孔徑一般為微米級或亞微米級。將微孔陶瓷板的吸附性應用于減薄、劃片、清洗、搬運等工序，其優(yōu)點在于平面度、平行度好，組織致密均勻，強度高，通透性好，吸附力均勻且易于修整。隨著科學技術的發(fā)展，液晶顯示面板等加工件的尺寸范圍越來越大，而傳統(tǒng)的吸附載臺裝置由于尺寸固定，不能適用于各種尺寸規(guī)格的加工件。

實用新型內容

本實用新型提供了一種微孔陶瓷吸附載臺，旨在解決現(xiàn)有技術提供的吸附載臺裝置無法適用于各種尺寸規(guī)格的加工件的技術問題。

本實用新型是這樣實現(xiàn)的：一種微孔陶瓷吸附載臺，由N個微孔陶瓷吸附載臺單元拼接組成，N為大于1的整數(shù)；

每個所述微孔陶瓷吸附載臺單元包括載臺底座、微孔陶瓷吸附塊和填充塊；

其中，所述微孔陶瓷吸附塊間隔地安裝在所述載臺底座的頂面上，所述填充塊安裝在所述微孔陶瓷吸附塊之間的間隙中。

進一步地，每個所述微孔陶瓷吸附載臺單元的載臺底座上設置有螺栓孔，多個所述微孔陶瓷吸附載臺單元拼接成整體的載臺結構后，所述微孔陶瓷吸附載臺單元通過螺栓連接板與相鄰的所述微孔陶瓷吸附載臺單元連接在一起。

進一步地，所述載臺底座上的填充塊之間設置有貫通所述載臺底座頂面和底面的通孔。

進一步地，所述微孔陶瓷吸附塊包括吸附底板和微孔陶瓷吸附板；

所述吸附底板的底面與所述載臺底座的頂面連接，所述吸附底板的頂面與所述微孔陶瓷吸附板連接；

所述吸附底板的頂面為溝槽面。

進一步地，所述吸附底板上設置有從其溝槽面貫通到底面的導氣孔，且所述吸附底板的底面上設置有一端與所述導氣孔連通的導氣槽；

所述載臺底座上還設置有貫通其頂面和底面且與所述導氣槽的另一端連通的導氣孔。

本實用新型與現(xiàn)有技術相比，有益效果在于：本實用新型提供的每個微孔陶瓷吸附載臺單元可用于單獨吸附加工件，由多個微孔陶瓷吸附載臺單元拼接成的微孔陶瓷吸附載臺，其吸附面積增大，適用于對不同尺寸規(guī)格的加工件進行吸附。

附圖說明