[實用新型]一種微孔陶瓷吸附載臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920370015.5
• 申請日: 2019-03-21
• 公開（公告）號: CN210046549U
• 公開（公告）日: 2020-02-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 謝圣君;王昌焱;徐新峰;房用橋;李士杰;范吉鵬;孫左峰;萬柯;湯治飛;湯華斌;范祥鑫;劉振強;謝飛;張董潔;呂啟濤;高云峰
• 申請（專利權(quán)）人: 大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團股份有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00;G02F1/13
• 代理公司: 44312 深圳市恒申知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 趙勝寶

1.一種微孔陶瓷吸附載臺，其特征在于，所述微孔陶瓷吸附載臺由N個微孔陶瓷吸附載臺單元拼接組成，N為大于1的整數(shù)；

每個所述微孔陶瓷吸附載臺單元包括載臺底座、微孔陶瓷吸附塊和填充塊；

其中，所述微孔陶瓷吸附塊間隔地安裝在所述載臺底座的頂面上，所述填充塊安裝在所述微孔陶瓷吸附塊之間的間隙中。

2.如權(quán)利要求1所述的微孔陶瓷吸附載臺，其特征在于，每個所述微孔陶瓷吸附載臺單元的載臺底座上設(shè)置有螺栓孔，多個所述微孔陶瓷吸附載臺單元拼接成整體的載臺結(jié)構(gòu)后，所述微孔陶瓷吸附載臺單元通過螺栓連接板與相鄰的所述微孔陶瓷吸附載臺單元連接在一起。

3.如權(quán)利要求1所述的微孔陶瓷吸附載臺，其特征在于，所述載臺底座上的填充塊之間設(shè)置有貫通所述載臺底座頂面和底面的通孔。

4.如權(quán)利要求1所述的微孔陶瓷吸附載臺，其特征在于，所述微孔陶瓷吸附塊包括吸附底板和微孔陶瓷吸附板；

所述吸附底板的底面與所述載臺底座的頂面連接，所述吸附底板的頂面與所述微孔陶瓷吸附板連接；

所述吸附底板的頂面為溝槽面。

5.如權(quán)利要求4所述的微孔陶瓷吸附載臺，其特征在于，所述吸附底板上設(shè)置有從其溝槽面貫通到底面的導(dǎo)氣孔，且所述吸附底板的底面上設(shè)置有一端與所述導(dǎo)氣孔連通的導(dǎo)氣槽；

所述載臺底座上還設(shè)置有貫通其頂面和底面且與所述導(dǎo)氣槽的另一端連通的導(dǎo)氣孔。