[實用新型]一種用于黑硅制備的反應裝置

有效

• 申請號: 201920367627.9
• 申請日: 2019-03-22
• 公開（公告）號: CN209592066U
• 公開（公告）日: 2019-11-05
• 發明（設計）人: 何其金;張靖;何飛;沈鴻烈
• 申請（專利權）人: 江蘇德潤光電科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01J37/32
• 代理公司: 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙) 11427
• 代理人: 艾秀麗

1.一種用于黑硅制備的反應裝置，包括反應桶(1)，其特征在于：所述反應桶(1)桶內的底壁上固定連接有限位塊(2)，反應桶(1)桶內底壁上活動連接有與限位塊(2)相接觸的分隔筒(3)，分隔筒(3)的左右兩側均開設有數量為五個的通氣孔(4)，分隔筒(3)筒內側壁開設有第一螺旋槽(5)，所述反應桶(1)桶內底壁上固定連接有位于分隔筒(3)內部的支撐桿(6)，支撐桿(6)的頂部固定連接有反應臺(7)，反應臺(7)的底部固定連接有穿過支撐桿(6)且延伸至反應桶(1)前側的連接線(8)，連接線(8)的前側固定連接有直流脈沖電源(9)，反應桶(1)的右側固定連接有放置板(12)，放置板(12)的頂部固定連接有復合分子泵(13)，復合分子泵(13)的輸入口固定連接有延伸至反應桶(1)內部的輸入管(11)，復合分子泵(13)輸出口處固定連接有三通閥(14)，三通閥(14)的前側固定連接有連接管(16)，連接管(16)的底部固定連接有與反應桶(1)相接觸的收集箱(15)，所述三通閥(14)的右側固定連接有延伸至反應桶(1)內部的循環管(17)，反應桶(1)的左側固定連接有延伸至反應桶(1)內部的進氣管(18)，反應桶(1)的左側固定連接有位于進氣管(18)下方的氣壓表(19)，反應桶(1)桶內頂壁固定連接有延伸至反應桶(1)外部的連接筒(20)，連接筒(20)的外部套接有與反應桶(1)相接觸的頂蓋(21)，頂蓋(21)的底部固定連接有延伸至連接筒(20)內部的擋塊(22)，擋塊(22)的外部套接有與連接筒(20)相接觸的第一密封圈(23)，連接筒(20)的外部套接有與頂蓋(21)和反應桶(1)相接觸的第二密封圈(24)，反應桶(1)桶內側壁開設有第二螺旋槽(10)。

2.根據權利要求1所述的一種用于黑硅制備的反應裝置，其特征在于：所述限位塊(2)為中空圓環塊，限位塊(2)的內徑等于分隔筒(3)的外徑，限位塊(2)的外徑小于反應桶(1)的內徑。

3.根據權利要求1所述的一種用于黑硅制備的反應裝置，其特征在于：所述通氣孔(4)共有十個，十個所述通氣孔(4)分成兩組，一組五個所述通氣孔(4)呈等距分布，左側所述通氣孔(4)與右側所述通氣孔(4)呈錯位分布。

4.根據權利要求1所述的一種用于黑硅制備的反應裝置，其特征在于：所述收集箱(15)為矩形箱，收集箱(15)位于放置板(12)的下方。

5.根據權利要求1所述的一種用于黑硅制備的反應裝置，其特征在于：所述擋塊(22)為圓柱塊，擋塊(22)的直徑小于連接筒(20)的內徑。

6.根據權利要求1所述的一種用于黑硅制備的反應裝置，其特征在于：所述第一螺旋槽(5)和第二螺旋槽(10)的方向相同，第一密封圈(23)和第二密封圈(24)均為真空密封圈。