[實用新型]投入式石英碳素加熱槽

有效

• 申請號: 201920361617.4
• 申請日: 2019-03-21
• 公開（公告）號: CN209487472U
• 公開（公告）日: 2019-10-11
• 發明（設計）人: 王靜強;徐福興
• 申請（專利權）人: 昆山基侑電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型為了解決現有的循環槽的密封性達不到完全隔絕化學藥劑的效果，提供了一種包括聚丙烯外槽體、石英內槽體、Z型石英碳素加熱器、鐵氟龍槽蓋和液壓缸的投入式石英碳素加熱槽，石英內槽體安裝于聚丙烯外槽體中，石英內槽體的槽底固設有承托Z型石英碳素加熱器的托塊，聚丙烯外槽體的槽口處安裝有密封墊，鐵氟龍槽蓋采用轉軸安裝于槽體頂部，液壓缸作為動力源帶動鐵氟龍槽蓋旋轉打開和關閉，實現了槽蓋的一鍵開關功能，液壓缸將槽蓋緊壓在密封墊上，能有效隔絕槽內化學藥劑散出，保護操作人員安全。

技術領域

本實用新型涉及晶圓清洗設備技術領域，特別是指用于承裝清洗溶液的投入式石英碳素加熱槽。

背景技術

投入式石英碳素加熱槽是以石英碳素加熱器直接對槽內的清洗溶液進行加熱。晶圓清洗使用的某些化學藥劑具有揮發性，嚴重危害操作人員的身體健康，循環槽需要有極佳的密封性能去阻隔揮發的化學藥劑，但是現有的循環槽的密封性還達不到完全隔絕的效果，還需要進一步改進。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是：如何提高投入式石英碳素加熱槽的密封性能，使其能夠完全阻隔揮發的化學藥劑。

為解決上述技術問題，本實用新型的技術方案如下：

投入式石英碳素加熱槽，包括聚丙烯外槽體、石英內槽體、Z型石英碳素加熱器、鐵氟龍槽蓋和液壓缸，所述石英內槽體安裝于所述聚丙烯外槽體中，所述石英內槽體的槽底固設有承托所述Z型石英碳素加熱器的托塊，所述Z型石英碳素加熱器的電連接端從所述石英內槽體的槽口向外彎折延伸至所述聚丙烯外槽體的外部；所述聚丙烯外槽體的槽口處安裝有密封墊，所述密封墊的底部對應所述Z型石英碳素加熱器的電連接端設置有讓位凹槽；所述鐵氟龍槽蓋采用轉軸安裝于所述槽體頂部，所述液壓缸作為動力源帶動所述鐵氟龍槽蓋旋轉。

優選的，所述鐵氟龍槽蓋與所述轉軸固連，所述液壓缸的桿件與所述轉軸固定，其缸體采用鉸接方式固定。

優選的，所述液壓缸采用純水液壓水缸。

優選的，所述鐵氟龍槽蓋和所述槽體共同安裝有一組以上的近接式光電開關。

優選的，所述外槽體的內側設置有一圈具有凹槽的掛臺，所述石英內槽體靠近槽口處具有向外翻折并與所述凹槽配合使用的掛鉤。

優選的，所述密封墊與所述掛鉤之間形成一空腔，所述石英內槽體的側板頂部延伸至空腔內并設置有斜齒結構，所述聚丙烯外槽體對應所述空腔處設置有排水管。

優選的，安裝于所述石英內槽體內用于測溫的元件采用PFA包覆式PT-100型熱電偶。

優選的，所述聚丙烯外槽體與所述石英內槽體之間填充有隔熱保溫棉。

優選的，所述聚丙烯外槽體的外部設置有夾持所述Z型石英碳素加熱器的夾持塊。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

1.本實用新型采用液壓缸帶動鐵氟龍槽蓋打開和關閉，實現了槽蓋的一鍵開關功能，液壓缸將槽蓋緊壓在密封墊上，能有效隔絕槽內化學藥劑散出，保護操作人員安全；

2.本實用新型將槽體解構成內外兩個槽體，石英內槽體可依清洗件尺寸訂制，減少了化學藥劑浪費；

3.本實用新型中用于測溫的PFA包覆式PT-100型熱電偶搭配溫控器及SCR(電力調整器)使用,可精確控溫于正負0.2°；

4.本實用新型中的石英內槽體與聚丙烯外槽體間填充隔熱保溫棉，確保升溫溫度不流失；

5.本實用新型中的近接式光電開關與純水液壓水缸配合使用，可二次確認水缸的磁性開關動作，保證了槽蓋的密封性；