[實用新型]投入式石英碳素加熱槽

有效

• 申請號: 201920361617.4
• 申請日: 2019-03-21
• 公開（公告）號: CN209487472U
• 公開（公告）日: 2019-10-11
• 發明（設計）人: 王靜強;徐福興
• 申請（專利權）人: 昆山基侑電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.投入式石英碳素加熱槽，其特征在于，包括聚丙烯外槽體、石英內槽體、Z型石英碳素加熱器、鐵氟龍槽蓋和液壓缸，所述石英內槽體安裝于所述聚丙烯外槽體中，所述石英內槽體的槽底固設有承托所述Z型石英碳素加熱器的托塊，所述Z型石英碳素加熱器的電連接端從所述石英內槽體的槽口向外彎折延伸至所述聚丙烯外槽體的外部；所述聚丙烯外槽體的槽口處安裝有密封墊，所述密封墊的底部對應所述Z型石英碳素加熱器的電連接端設置有讓位凹槽；所述鐵氟龍槽蓋采用轉軸安裝于所述槽體頂部，所述液壓缸作為動力源帶動所述鐵氟龍槽蓋旋轉。

2.根據權利要求1所述的投入式石英碳素加熱槽，其特征在于，所述鐵氟龍槽蓋與所述轉軸固連，所述液壓缸的桿件與所述轉軸固定，其缸體采用鉸接方式固定。

3.根據權利要求1所述的投入式石英碳素加熱槽，其特征在于，所述液壓缸采用純水液壓水缸。

4.根據權利要求3所述的投入式石英碳素加熱槽，其特征在于，所述鐵氟龍槽蓋和所述槽體共同安裝有一組以上的近接式光電開關。

5.根據權利要求1所述的投入式石英碳素加熱槽，其特征在于，所述外槽體的內側設置有一圈具有凹槽的掛臺，所述石英內槽體靠近槽口處具有向外翻折并與所述凹槽配合使用的掛鉤。

6.根據權利要求5所述的投入式石英碳素加熱槽，其特征在于，所述密封墊與所述掛鉤之間形成一空腔，所述石英內槽體的側板頂部延伸至空腔內并設置有斜齒結構，所述聚丙烯外槽體對應所述空腔處設置有排水管。

7.根據權利要求1所述的投入式石英碳素加熱槽，其特征在于，安裝于所述石英內槽體內用于測溫的元件采用PFA包覆式PT-100型熱電偶。

8.根據權利要求1所述的投入式石英碳素加熱槽，其特征在于，所述聚丙烯外槽體與所述石英內槽體之間填充有隔熱保溫棉。

9.根據權利要求1所述的投入式石英碳素加熱槽，其特征在于，所述聚丙烯外槽體的外部設置有夾持所述Z型石英碳素加熱器的夾持塊。