[實用新型]送膜裝置

有效

• 申請號: 201920344344.2
• 申請日: 2019-03-18
• 公開（公告）號: CN209747463U
• 公開（公告）日: 2019-12-06
• 發明（設計）人: 謝軍
• 申請（專利權）人: 廣東思沃精密機械有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B65B33/02;B65B61/06;B65H23/188
• 代理公司: 44414 深圳中一聯合知識產權代理有限公司
• 代理人: 張全文<國際申請>=<國際公布>=<進入

1.送膜裝置，其特征在于，包括貼膜切膜臺、設于所述貼膜切膜臺一側的原料膜供應組件、設于所述貼膜切膜臺另一側的廢膜收卷組件、設于所述貼膜切膜臺與所述原料膜供應組件之間且用于分離干膜與底膜的分膜輥、設于所述貼膜切膜臺的調節組件、以及底膜收卷組件；所述貼膜切膜臺開設有安裝長孔，所述調節組件包括端部位于所述安裝長孔的調節輥、與所述貼膜切膜臺滑動連接且與所述調節輥相抵接的調節桿、以及設于所述調節桿與所述貼膜切膜臺之間的彈性件。

2.根據權利要求1所述的送膜裝置，其特征在于，所述貼膜切膜臺于所述安裝長孔的內壁開設有滑動孔，所述彈性件設于所述滑動孔內，所述調節桿遠離所述調節輥的一端位于所述滑動孔內并與所述彈性件接觸設置。

3.根據權利要求1所述的送膜裝置，其特征在于，所述調節輥的端部的側表面具有接觸平面，所述調節桿于所述接觸平面與所述調節輥相抵接。

4.根據權利要求1所述的送膜裝置，其特征在于，所述調節輥的端部的側表面開設有調節凹槽，所述調節桿伸入所述調節凹槽并與所述調節凹槽的底部相抵接。

5.根據權利要求1所述的送膜裝置，其特征在于，所述安裝長孔內的內壁設有若干轉動鋼珠。

6.根據權利要求1-5任一項所述的送膜裝置，其特征在于，所述彈性件為彈簧。

7.根據權利要求1-5任一項所述的送膜裝置，其特征在于，所述貼膜切膜臺設有用于將干膜貼附于晶圓的貼膜機構、以及對干膜進行切割的切膜組件。

8.根據權利要求1-5任一項所述的送膜裝置，其特征在于，所述原料膜供應組件包括送膜支架、與所述送膜支架轉動連接第一氣漲軸、用于驅動所述第一氣漲軸轉動的第一轉動驅動件、以及設于所述送膜支架的多個第一張緊輥。

9.根據權利要求1-5任一項所述的送膜裝置，其特征在于，所述廢膜收卷組件包括送膜支架、與所述送膜支架轉動連接的第二氣漲軸、用于驅動所述第二氣漲軸轉動的第二轉動驅動件、以及設于所述貼膜切膜臺的第二張緊輥。

10.根據權利要求1-5任一項所述的送膜裝置，其特征在于，所述底膜收卷組件包括送膜支架、與所述送膜支架轉動連接第三氣漲軸、用于驅動所述第三氣漲軸轉動的第三轉動驅動件、以及設于所述送膜支架的多個第三張緊輥。