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[實用新型]貼膜機構(gòu)有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201920342979.9 申請日: 2019-03-18
公開(公告)號: CN209747456U 公開(公告)日: 2019-12-06
發(fā)明(設(shè)計)人: 謝軍 申請(專利權(quán))人: 廣東思沃精密機械有限公司
主分類號: H01L21/67 分類號: H01L21/67
代理公司: 44414 深圳中一聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人: 張全文<國際申請>=<國際公布>=<進入
地址: 523000 廣東省東莞市松*** 國省代碼: 廣東;44
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 壓膜 氣囊 晶圓 干膜 氣管 壓緊組件 氣泵 貼膜 充氣 本實用新型 緊密壓合 局部貼合 體積膨脹 貼膜機構(gòu) 相對設(shè)置 貼合 壓合 施加 相通
【權(quán)利要求書】:

1.貼膜機構(gòu),其特征在于,包括第一壓膜臺、與所述第一壓膜臺相對設(shè)置且用于放置待貼膜產(chǎn)品的第二壓膜臺、以及設(shè)于所述第一壓膜臺的壓緊組件;所述壓緊組件包括設(shè)于所述第一壓膜臺的壓膜氣囊、與所述壓膜氣囊相通的壓膜氣管、以及與所述壓膜氣管相連的氣泵。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的貼膜機構(gòu),其特征在于,所述第一壓膜臺開設(shè)有連通孔,所述壓膜氣囊與所述連通孔相通,所述壓膜氣管遠離所述氣泵的一端與所述連通孔相通。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的貼膜機構(gòu),其特征在于,所述第一壓膜臺于所述連通孔處開設(shè)有螺紋孔,所述壓膜氣管上設(shè)有連接法蘭,所述連接法蘭開設(shè)有連接通孔,所述第一壓膜臺與所述連接法蘭之間設(shè)有連接螺釘,所述連接螺釘貫穿所述連接通孔并與所述螺紋孔螺紋連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的貼膜機構(gòu),其特征在于,所述連接法蘭與所述第一壓膜臺之間設(shè)有密封墊,所述密封墊環(huán)繞所述連通孔設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的貼膜機構(gòu),其特征在于,還包括設(shè)于所述壓膜氣囊與所述第一壓膜臺之間的第一加熱組件;所述第一加熱組件包括與所述壓膜氣囊熱傳導接觸的第一導熱件、以及與所述第一導熱件遠離所述壓膜氣囊的一側(cè)相連的第一加熱件。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的貼膜機構(gòu),其特征在于,所述第一壓膜臺具有第一加熱腔,所述第一加熱組件設(shè)于所述第一加熱腔內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項所述的貼膜機構(gòu),其特征在于,所述第二壓膜臺具有第二加熱腔,所述第二加熱腔內(nèi)設(shè)有第二加熱組件。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的貼膜機構(gòu),其特征在于,所述第二加熱組件包括第二加熱件、以及與所述第二加熱件靠近所述第一壓膜臺的一側(cè)相連的第二導熱件。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項所述的貼膜機構(gòu),其特征在于,還包括用于帶動所述第一壓膜臺相對所述第二壓膜臺移動的壓膜驅(qū)動機構(gòu);所述壓膜驅(qū)動機構(gòu)包括與所述第一壓膜臺相連的壓膜升降桿、與所述壓膜升降桿遠離所述第一壓膜臺的一端相連的壓膜升降板、活動端與所述壓膜升降板相連的壓膜升降氣缸、以及與所述壓膜升降氣缸的固定端相連的壓膜固定板。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的貼膜機構(gòu),其特征在于,所述壓膜驅(qū)動機構(gòu)還包括設(shè)于所述壓膜固定板的壓膜導桿,所述壓膜升降板開設(shè)有以供所述壓膜導桿通過的壓膜導向孔。

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