[實用新型]一種用于原子層沉積設備的真空加熱盤管電極

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920331204.1
• 申請日: 2019-03-15
• 公開（公告）號: CN209748842U
• 公開（公告）日: 2019-12-06
• 發(fā)明（設計）人: 逯文冬;鄭錦;耿晨宇;黃省三
• 申請（專利權）人: 南京原磊納米材料有限公司
• 主分類號: H05B3/03
• 分類號: H05B3/03
• 代理公司: 11548 北京華仲龍騰專利代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 李靜<國際申請>=<國際公布>=<進入國

本實用新型涉及一種電極，具體是一種用于原子層沉積設備的真空加熱盤管電極，包括加熱管及設置在加熱管下端的電極，所述加熱管設置在真空腔體內部；所述電極通過安裝法蘭固定在真空腔體下端，電極上端貫穿在真空腔體內部，電極上端設有導電柱，導電柱和加熱管為可拆卸式連接。本實用新型加熱管與電極螺紋配合安裝，方便拆卸，利于加熱管更換維修；大氣環(huán)境的電流通過電極傳導給真空腔體內部真空環(huán)境中的加熱管，進行工作。進而解決了傳統(tǒng)的電極和加熱管焊接為一體造成拆卸更換維修不便的問題。

技術領域

本實用新型涉及一種電極，具體是一種用于原子層沉積設備的真空加熱盤管電極。

背景技術

原子層沉積，是一種可以將物質以單原子膜形式一層一層的鍍在基底表面的方法。電極，電子或電器裝置、設備中的一種部件，用做導電介質(固體、氣體、真空或電解質溶液)中輸入或導出電流的兩個端。輸入電流的一極叫陽極或正極，放出電流的一極叫陰極或負極。

應用在原子層沉積設備中的空式電極是通過大氣和真空腔體式的常用連接，已存在的技術是把電極和加熱管焊接為一體，在維修空間比較大的地方經常所見。然而對一些小的腔體和維修空間較窄的地方，電極和加熱管焊接為一體，進而會造成拆卸更換維修不便的問題。

為解決上述問題，特提出了一種用于原子層沉積設備的真空加熱盤管電極。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種用于原子層沉積設備的真空加熱盤管電極，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種用于原子層沉積設備的真空加熱盤管電極，包括加熱管及設置在加熱管下端的電極，所述加熱管設置在真空腔體內部；所述電極通過安裝法蘭固定在真空腔體下端，電極上端貫穿在真空腔體內部，電極上端設有導電柱，導電柱和加熱管為可拆卸式連接。

為了進一步提高一種用于原子層沉積設備的真空加熱盤管電極的使用效果，所述導電柱和加熱管為螺紋連接。

為了進一步提高一種用于原子層沉積設備的真空加熱盤管電極的使用效果，所述導電柱和加熱管為限位銷穿插連接。

為了進一步提高一種用于原子層沉積設備的真空加熱盤管電極的使用效果，所述導電柱的材質為銅。

為了進一步提高一種用于原子層沉積設備的真空加熱盤管電極的使用效果，所述電極外部包裹一層絕緣材料。

為了進一步提高一種用于原子層沉積設備的真空加熱盤管電極的使用效果，所述絕緣材料為陶瓷。

為了進一步提高一種用于原子層沉積設備的真空加熱盤管電極的使用效果，所述電極和安裝法蘭為一體式焊接固定，電極和安裝法蘭連接處鋪設有過渡焊接材料，安裝法蘭和真空腔體通過緊固件固定。

為了進一步提高一種用于原子層沉積設備的真空加熱盤管電極的使用效果，所述過渡焊接材料為可伐合金。

為了進一步提高一種用于原子層沉積設備的真空加熱盤管電極的使用效果，所述緊固件是由螺栓和螺母構成。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

本實用新型加熱管與電極螺紋配合安裝，方便拆卸，利于加熱管更換維修；大氣環(huán)境的電流通過電極傳導給真空腔體內部真空環(huán)境中的加熱管，進行工作。

附圖說明

圖1為本實用新型用于原子層沉積設備的真空加熱盤管電極的結構示意圖。

圖中：1-加熱管；2-真空腔體；3-緊固件；4-安裝法蘭；5-電極；6-導電柱；7-絕緣材料。

具體實施方式