[實用新型]一種用于原子層沉積設備的真空加熱盤管電極

有效

• 申請號: 201920331204.1
• 申請日: 2019-03-15
• 公開（公告）號: CN209748842U
• 公開（公告）日: 2019-12-06
• 發明（設計）人: 逯文冬;鄭錦;耿晨宇;黃省三
• 申請（專利權）人: 南京原磊納米材料有限公司
• 主分類號: H05B3/03
• 分類號: H05B3/03
• 代理公司: 11548 北京華仲龍騰專利代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 李靜<國際申請>=<國際公布>=<進入國

1.一種用于原子層沉積設備的真空加熱盤管電極，包括加熱管（1）及設置在加熱管（1）下端的電極（5），其特征在于，所述加熱管（1）設置在真空腔體（2）內部；所述電極（5）通過安裝法蘭（4）固定在真空腔體（2）下端，電極（5）上端貫穿在真空腔體（2）內部，電極（5）上端設有導電柱（6），導電柱（6）和加熱管（1）為可拆卸式連接。

2.根據權利要求1所述的一種用于原子層沉積設備的真空加熱盤管電極，其特征在于，所述導電柱（6）和加熱管（1）為螺紋連接。

3.根據權利要求1所述的一種用于原子層沉積設備的真空加熱盤管電極，其特征在于，所述導電柱（6）和加熱管（1）為限位銷穿插連接。

4.根據權利要求1所述的一種用于原子層沉積設備的真空加熱盤管電極，其特征在于，所述導電柱（6）的材質為銅。

5.根據權利要求1所述的一種用于原子層沉積設備的真空加熱盤管電極，其特征在于，所述電極（5）外部包裹一層絕緣材料（7）。

6.根據權利要求5所述的一種用于原子層沉積設備的真空加熱盤管電極，其特征在于，所述絕緣材料（7）為陶瓷。

7.根據權利要求1所述的一種用于原子層沉積設備的真空加熱盤管電極，其特征在于，所述電極（5）和安裝法蘭（4）為一體式焊接固定，電極（5）和安裝法蘭（4）連接處鋪設有過渡焊接材料，安裝法蘭（4）和真空腔體（2）通過緊固件（3）固定。

8.根據權利要求7所述的一種用于原子層沉積設備的真空加熱盤管電極，其特征在于，所述過渡焊接材料為可伐合金。

9.根據權利要求7所述的一種用于原子層沉積設備的真空加熱盤管電極，其特征在于，所述緊固件（3）是由螺栓和螺母構成。