[實用新型]一種自動排片機芯片吸嘴堵塞快速檢測配合結構有效
| 申請號: | 201920321185.4 | 申請日: | 2019-03-14 |
| 公開(公告)號: | CN209447768U | 公開(公告)日: | 2019-09-27 |
| 發明(設計)人: | 陳紹勇;王志華;孫豹龍 | 申請(專利權)人: | 無錫翔華科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 合肥方舟知識產權代理事務所(普通合伙) 34158 | 代理人: | 宋萍 |
| 地址: | 214000 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 本實用新型 內腔體 排片機 檢測 氣流傳感器 檢測裝置 快速檢測 配合凹槽 配合結構 吹入 內腔 內置 吸嘴 體內 芯片 吸盤 調節檢測裝置 驅動動力裝置 堵塞 監測檢測 排廢通道 氣體導流 旋轉連桿 裝置領域 導氣管 坡面體 氣泵管 體內部 吸嘴盤 橡膠板 邊角 側壁 墊圈 內裝 裝設 氣壓 通暢 監測 支撐 | ||
本實用新型公開了一種自動排片機芯片吸嘴堵塞快速檢測配合結構,涉及排片機裝置領域。本實用新型中:檢測內腔體的側壁上裝設有用于監測檢測內腔體內部氣壓的氣流傳感器;檢測內腔體內固定設有用于氣體導流的內置坡面體;檢測裝置體內開設有與檢測內腔體相連通的內置排廢通道;檢測裝置體上開設有第一配合凹槽;第一配合凹槽內裝設有內側邊角墊圈;第一旋轉連桿的端側裝設有用于加固/支撐前連導氣管的卡位橡膠板。本實用新型通過推進驅動動力裝置調節檢測裝置體的位置,并將吸盤氣泵管體吹入的氣體導入檢測內腔體,通過氣流傳感器高效的對吹入的氣體/氣流進行監測,從而檢測當前吸嘴盤的通暢情況。
技術領域
本實用新型涉及排片機裝置領域,尤其涉及一種自動排片機芯片吸嘴堵塞快速檢測配合結構。
背景技術
自動排片機是一張將符合要求的芯片從相應的膜上拾取,自動排放在片盒里的一種設備,是集機械、電氣、視覺、運動控制等技術于一體的自動化設備,能夠自動、高效的替代人工進行挑片。
在自動排片機中,芯片的吸附、放置過程需要用到吸盤機構,由于吸盤的氣體管道較細,當一些細微雜質堵塞氣體管道時,吸盤的吸放力不足,對芯片的吸放操作會造成較大影響,在進行芯片的排片操作前,對吸盤的堵塞情況進行檢測,是保證芯片排片高質量操作的重要操作。
實用新型內容
本實用新型要解決的技術問題是提供一種自動排片機芯片吸嘴堵塞快速檢測配合結構,通過推進驅動動力裝置調節檢測裝置體的位置,并將吸盤氣泵管體吹入的氣體導入檢測內腔體,通過氣流傳感器高效的對吹入的氣體/氣流進行監測,從而檢測當前吸嘴盤的通暢情況。
為解決上述技術問題,本實用新型是通過以下技術方案實現的:
本實用新型提供一種自動排片機芯片吸嘴堵塞快速檢測配合結構,包括推進驅動動力裝置,推進驅動動力裝置上包括推進連桿機構;包括檢測裝置體,檢測裝置體的一側與推進連桿機構的端側之間設有推進固定連板;檢測裝置體內開設有檢測內腔體;檢測內腔體的側壁上裝設有用于監測檢測內腔體內部氣壓的氣流傳感器;檢測內腔體內固定設有用于氣體導流的內置坡面體;檢測裝置體內開設有與檢測內腔體相連通的內置排廢通道;檢測裝置體上開設有第一配合凹槽;第一配合凹槽內裝設有內側邊角墊圈。
包括用于連通第一配合凹槽與檢測內腔體的雙側通氣槽;包括吸盤氣泵管體,吸盤氣泵管體的端側包括前連導氣管;前連導氣管的端側設有吸嘴盤;檢測裝置體上固定裝設有一對位于第一配合凹槽兩側的第一邊側驅動動力裝置;第一邊側驅動動力裝置的輸出軸上連接有第一旋轉連桿;第一旋轉連桿的端側裝設有用于加固/支撐前連導氣管的卡位橡膠板。
作為本實用新型的一種優選技術方案,內置排廢通道上裝設有排廢閥門;包括用于驅動控制排廢閥門的閥門控制器;內置排廢通道的外開口側連接有外連軟管。
作為本實用新型的一種優選技術方案,內置坡面體的導流坡面向氣流傳感器所在的位置傾斜。
作為本實用新型的一種優選技術方案,內側邊角墊圈上開設有與吸嘴盤環側邊緣相配合的墊圈卡扣缺口;內側邊角墊圈為硅膠/橡膠材質墊圈。
作為本實用新型的一種優選技術方案,推進驅動動力裝置固定在外部整體裝置殼體上;
檢測裝置體上設有與外部整體裝置殼體活動連接的滑動連桿架。
與現有的技術相比,本實用新型的有益效果是:
1、本實用新型通過推進驅動動力裝置調節檢測裝置體的位置,并將吸盤氣泵管體吹入的氣體導入檢測內腔體,通過氣流傳感器高效的對吹入的氣體/氣流進行監測,從而檢測當前吸嘴盤的通暢情況;
2、本實用新型通過第一邊側驅動動力裝置驅動卡位橡膠板推進加緊前連導氣管,使吸嘴盤與內側邊角墊圈緊密配合;通過在檢測裝置體內開設內置排廢通道,從而對吸嘴盤吹出的雜質、廢料進行有效的排出,避免了雜質、廢料等對吸嘴盤的影響。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





