[實用新型]一種自動排片機芯片吸嘴堵塞快速檢測配合結(jié)構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201920321185.4 | 申請日: | 2019-03-14 |
| 公開(公告)號: | CN209447768U | 公開(公告)日: | 2019-09-27 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 陳紹勇;王志華;孫豹龍 | 申請(專利權(quán))人: | 無錫翔華科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 合肥方舟知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 34158 | 代理人: | 宋萍 |
| 地址: | 214000 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 本實用新型 內(nèi)腔體 排片機 檢測 氣流傳感器 檢測裝置 快速檢測 配合凹槽 配合結(jié)構(gòu) 吹入 內(nèi)腔 內(nèi)置 吸嘴 體內(nèi) 芯片 吸盤 調(diào)節(jié)檢測裝置 驅(qū)動動力裝置 堵塞 監(jiān)測檢測 排廢通道 氣體導(dǎo)流 旋轉(zhuǎn)連桿 裝置領(lǐng)域 導(dǎo)氣管 坡面體 氣泵管 體內(nèi)部 吸嘴盤 橡膠板 邊角 側(cè)壁 墊圈 內(nèi)裝 裝設(shè) 氣壓 通暢 監(jiān)測 支撐 | ||
1.一種自動排片機芯片吸嘴堵塞快速檢測配合結(jié)構(gòu),其特征在于:
包括推進(jìn)驅(qū)動動力裝置(1),所述推進(jìn)驅(qū)動動力裝置(1)上包括推進(jìn)連桿機構(gòu)(2);
包括檢測裝置體(3),所述檢測裝置體的一側(cè)與推進(jìn)連桿機構(gòu)(2)的端側(cè)之間設(shè)有推進(jìn)固定連板(4);
所述檢測裝置體(3)內(nèi)開設(shè)有檢測內(nèi)腔體(5);
所述檢測內(nèi)腔體(5)的側(cè)壁上裝設(shè)有用于監(jiān)測檢測內(nèi)腔體(5)內(nèi)部氣壓的氣流傳感器(6);
所述檢測內(nèi)腔體(5)內(nèi)固定設(shè)有用于氣體導(dǎo)流的內(nèi)置坡面體(7);
所述檢測裝置體(3)內(nèi)開設(shè)有與檢測內(nèi)腔體(5)相連通的內(nèi)置排廢通道(8);
所述檢測裝置體(3)上開設(shè)有第一配合凹槽(12);
所述第一配合凹槽(12)內(nèi)裝設(shè)有內(nèi)側(cè)邊角墊圈(18);
包括用于連通第一配合凹槽(12)與檢測內(nèi)腔體(5)的雙側(cè)通氣槽(16);
包括吸盤氣泵管體(14),所述吸盤氣泵管體(14)的端側(cè)包括前連導(dǎo)氣管(15);
所述前連導(dǎo)氣管(15)的端側(cè)設(shè)有吸嘴盤(17);
所述檢測裝置體(3)上固定裝設(shè)有一對位于第一配合凹槽(12)兩側(cè)的第一邊側(cè)驅(qū)動動力裝置(13);
所述第一邊側(cè)驅(qū)動動力裝置(13)的輸出軸上連接有第一旋轉(zhuǎn)連桿(20);
所述第一旋轉(zhuǎn)連桿(20)的端側(cè)裝設(shè)有用于加固/支撐前連導(dǎo)氣管(15)的卡位橡膠板(21)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動排片機芯片吸嘴堵塞快速檢測配合結(jié)構(gòu),其特征在于:
所述內(nèi)置排廢通道(8)上裝設(shè)有排廢閥門(10);
包括用于驅(qū)動控制排廢閥門(10)的閥門控制器(9);
所述內(nèi)置排廢通道(8)的外開口側(cè)連接有外連軟管(11)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動排片機芯片吸嘴堵塞快速檢測配合結(jié)構(gòu),其特征在于:
所述內(nèi)置坡面體(7)的導(dǎo)流坡面向氣流傳感器(6)所在的位置傾斜。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動排片機芯片吸嘴堵塞快速檢測配合結(jié)構(gòu),其特征在于:
所述內(nèi)側(cè)邊角墊圈(18)上開設(shè)有與吸嘴盤(17)環(huán)側(cè)邊緣相配合的墊圈卡扣缺口(19);
所述內(nèi)側(cè)邊角墊圈(18)為硅膠/橡膠材質(zhì)墊圈。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動排片機芯片吸嘴堵塞快速檢測配合結(jié)構(gòu),其特征在于:
所述推進(jìn)驅(qū)動動力裝置(1)固定在外部整體裝置殼體上;
所述檢測裝置體(3)上設(shè)有與外部整體裝置殼體活動連接的滑動連桿架(22)。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





