[實用新型]真空干燥裝置有效
| 申請號： | 201920302302.2 | 申請日： | 2019-03-11 |
| 公開（公告）號： | CN210101058U | 公開（公告）日： | 2020-02-21 |
| 發明（設計）人： | 史橫舟;孫雅娟;王允軍 | 申請（專利權）人： | 蘇州星爍納米科技有限公司 |
| 主分類號： | B41J11/00 | 分類號： | B41J11/00;H01L51/56 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215123 江蘇省蘇州市工業*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 真空 干燥 裝置 | ||
1.一種真空干燥裝置，其特征在于，包括真空腔室及位于真空腔室內部的支撐件，
所述真空腔室包括抽氣口，所述抽氣口與真空腔室連通，所述抽氣口分別位于真空腔室的側部及底部，用于抽取所述真空腔室內部的氣體或向所述真空腔室內部填充氣體；
所述支撐件位于真空腔室的下方，用于承載表面涂覆有功能墨水的基板。
2.根據權利要求1所述的真空干燥裝置，其特征在于，所述真空腔室的側部設有一組抽氣口，所述一組為兩個或多個，
所述真空腔室的底部設有單個抽氣口。
3.根據權利要求2所述的真空干燥裝置，其特征在于，所述側部的各抽氣口高度相等，關于真空腔室的垂直中心軸線對稱分布。
4.根據權利要求3所述的真空干燥裝置，其特征在于，所述側部的抽氣口的高度低于支撐件的高度。
5.根據權利要求3所述的真空干燥裝置，其特征在于，所述側部的抽氣口與基板之間的水平距離不少于抽氣口的內徑。
6.根據權利要求2所述的真空干燥裝置，其特征在于，所述底部的單個抽氣口設于底部中心位置。
7.根據權利要求1～6任一所述的真空干燥裝置，其特征在于，所述抽氣口均設有相應控制閥。
8.根據權利要求1所述的真空干燥裝置，其特征在于，所述支撐件包括支撐板和多個支撐柱，所述支撐柱一端安裝在真空腔室的底部，另一端連接于支撐板，所述支撐板承載表面涂覆有功能墨水的基板。
9.根據權利要求8所述的真空干燥裝置，其特征在于，所述支撐件的高度可調節，所述支撐件的高度占所述真空腔室高度的1/5至4/5。
10.根據權利要求1所述的真空干燥裝置，其特征在于，所述真空干燥裝置還包括真空度檢測元件。
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