[實用新型]一種碳化硅晶片研磨工藝用的上蠟裝置

有效

• 申請號: 201920286025.0
• 申請日: 2019-03-07
• 公開（公告）號: CN209613435U
• 公開（公告）日: 2019-11-12
• 發明（設計）人: 袁鳳坡;曾昊;元利勇;王玉茹
• 申請（專利權）人: 同輝電子科技股份有限公司
• 主分類號: B05C11/00
• 分類號: B05C11/00;B05C13/02
• 代理公司: 石家莊元匯專利代理事務所(特殊普通合伙) 13115
• 代理人: 周大偉

本實用新型涉及晶片加工附屬裝置的技術領域，特別是涉及一種碳化硅晶片研磨工藝用的上蠟裝置，可對碳化硅晶片進行固定，保證碳化硅晶片的上蠟質量；可自動對碳化硅晶片進行上蠟，有效的減輕工作人員的勞動強度；包括工作臺、四組支腿和打蠟塊；還包括左滑塊、右滑塊、左彈簧、右彈簧、左壓緊板、右壓緊板、受力繩、牽引繩、兩組固定板、安裝座、第一電機、轉軸和卷線筒，工作臺頂端左半區域和右半區域分別設置有左滑動槽和右滑動槽，第一電機左部輸出端設置有減速機；還包括左支撐柱、右支撐柱、橫板、滑動板、轉動桿、左連接板、右連接板、第二電機和氣缸，橫板底端中央區域設置有穩定槽，氣缸底部輸出端設置有伸縮桿。

技術領域

本實用新型涉及晶片加工附屬裝置的技術領域，特別是涉及一種碳化硅晶片研磨工藝用的上蠟裝置。

背景技術

眾所周知，碳化硅晶片研磨工藝用的上蠟裝置是一種用于碳化硅晶片研磨過程中對圓形碳化硅晶片表面進行打蠟的輔助裝置，其在晶片加工的領域中得到了廣泛的使用；現有的碳化硅晶片研磨工藝用的上蠟裝置包括工作臺、四組支腿和打蠟塊，四組支腿頂端分別與工作臺底端左前側、右前側、左后側和右后側連接；現有的碳化硅晶片研磨工藝用的上蠟裝置使用時，首先把待加工的碳化硅晶片放置在工作臺上，把打蠟膏涂在打蠟塊上，工作人員手持打蠟塊對碳化硅晶片進行上蠟；現有的碳化硅晶片研磨工藝用的上蠟裝置使用中發現，對碳化硅晶片進行上蠟的過程中，碳化硅晶片容易發生移動，容易對碳化硅晶片的上蠟質量造成影響，導致其使用可靠性較差；工作人員手動對碳化硅晶片進行上蠟，使得上蠟厚度均勻度較低且勞動強度較大，導致其工作效率較低。

實用新型內容

為解決上述技術問題，本實用新型提供一種可對碳化硅晶片進行固定，保證碳化硅晶片的上蠟質量，提高使用可靠性；可自動對碳化硅晶片進行上蠟，有效的減輕工作人員的勞動強度，提高工作效率的碳化硅晶片研磨工藝用的上蠟裝置。

本實用新型的一種碳化硅晶片研磨工藝用的上蠟裝置，包括工作臺、四組支腿和打蠟塊，四組支腿頂端分別與工作臺底端左前側、右前側、左后側和右后側連接；還包括左滑塊、右滑塊、左彈簧、右彈簧、左壓緊板、右壓緊板、受力繩、牽引繩、兩組固定板、安裝座、第一電機、轉軸和卷線筒，工作臺頂端左半區域和右半區域分別設置有左滑動槽和右滑動槽，工作臺底端中央區域設置有通槽，所述通槽內左側壁和內右側壁上半區域分別橫向設置有左連接孔和右連接孔，所述左連接孔和右連接孔分別與左滑動槽和右滑動槽連通，所述左滑塊和右滑塊底端分別位于左滑動槽和右滑動槽內，所述左彈簧左端和右彈簧右端分別與左滑塊右側壁和右滑塊左側壁下半區域連接，左彈簧右端和右彈簧左端分別與左滑動槽內右側壁和右滑動槽內左側壁中央區域連接，所述左壓緊板和右壓緊板底端分別與左滑塊和右滑塊頂端中央區域連接，所述受力繩左端依次穿過左連接孔和左彈簧并與左滑塊右端連接，受力繩右端依次穿過右連接孔和右彈簧并與右滑塊左端連接，所述兩組固定板頂端分別與工作臺底端左半區域和右半區域連接，兩組固定板左側壁下半區域分別橫向設置有兩組貫通孔，所述安裝座頂端與工作臺底端右半區域連接，安裝座底端與第一電機頂端連接，所述第一電機左部輸出端設置有減速機，所述轉軸右端依次穿過兩組貫通孔并與減速機左部輸出端連接，所述卷線筒套裝固定在轉軸上，所述牽引繩一端與受力繩中部連接，牽引繩另一端纏繞在卷線筒上；還包括左支撐柱、右支撐柱、橫板、滑動板、轉動桿、左連接板、右連接板、第二電機和氣缸，所述左支撐柱和右支撐柱底端分別與工作臺頂端左半區域和右半區域連接，左支撐柱和右支撐柱頂端分別與橫板底端左半區域和右半區域連接，所述橫板底端中央區域設置有穩定槽，所述左連接板和右連接板頂端分別與橫板底端左半區域和右半區域連接，左連接板和右連接板左側壁中央區域分別橫向設置有左轉動孔和右轉動孔，所述第二電機安裝在橫板底端左半區域，所述轉動桿左端與第二電機右部輸出端連接，轉動桿右端穿過左轉動孔并插入至右轉動孔內，并在轉動桿與左轉動孔和右轉動孔內側壁之間分別設置有第一左滾珠軸承和第一右滾珠軸承，轉動桿外側壁中央區域設置有外螺紋，所述滑動板螺裝套設在轉動桿外側，滑動板頂端伸入至穩定槽內，所述氣缸頂端與滑動板底端中央區域連接，氣缸底部輸出端設置有伸縮桿，打蠟塊安裝在伸縮桿底端。