[實用新型]一種碳化硅晶片研磨工藝用的上蠟裝置

有效

• 申請號: 201920286025.0
• 申請日: 2019-03-07
• 公開（公告）號: CN209613435U
• 公開（公告）日: 2019-11-12
• 發明（設計）人: 袁鳳坡;曾昊;元利勇;王玉茹
• 申請（專利權）人: 同輝電子科技股份有限公司
• 主分類號: B05C11/00
• 分類號: B05C11/00;B05C13/02
• 代理公司: 石家莊元匯專利代理事務所(特殊普通合伙) 13115
• 代理人: 周大偉

1.一種碳化硅晶片研磨工藝用的上蠟裝置，包括工作臺(1)、四組支腿(2)和打蠟塊(3)，四組支腿(2)頂端分別與工作臺(1)底端左前側、右前側、左后側和右后側連接；其特征在于，還包括左滑塊(4)、右滑塊、左彈簧(5)、右彈簧、左壓緊板(6)、右壓緊板、受力繩(7)、牽引繩(8)、兩組固定板(9)、安裝座(10)、第一電機(11)、轉軸(12)和卷線筒(13)，工作臺(1)頂端左半區域和右半區域分別設置有左滑動槽和右滑動槽，工作臺(1)底端中央區域設置有通槽，所述通槽內左側壁和內右側壁上半區域分別橫向設置有左連接孔和右連接孔，所述左連接孔和右連接孔分別與左滑動槽和右滑動槽連通，所述左滑塊(4)和右滑塊底端分別位于左滑動槽和右滑動槽內，所述左彈簧(5)左端和右彈簧右端分別與左滑塊(4)右側壁和右滑塊左側壁下半區域連接，左彈簧(5)右端和右彈簧左端分別與左滑動槽內右側壁和右滑動槽內左側壁中央區域連接，所述左壓緊板(6)和右壓緊板底端分別與左滑塊(4)和右滑塊頂端中央區域連接，所述受力繩(7)左端依次穿過左連接孔和左彈簧(5)并與左滑塊(4)右端連接，受力繩(7)右端依次穿過右連接孔和右彈簧并與右滑塊左端連接，所述兩組固定板(9)頂端分別與工作臺(1)底端左半區域和右半區域連接，兩組固定板(9)左側壁下半區域分別橫向設置有兩組貫通孔，所述安裝座(10)頂端與工作臺(1)底端右半區域連接，安裝座(10)底端與第一電機(11)頂端連接，所述第一電機(11)左部輸出端設置有減速機(14)，所述轉軸(12)右端依次穿過兩組貫通孔并與減速機(14)左部輸出端連接，所述卷線筒(13)套裝固定在轉軸(12)上，所述牽引繩(8)一端與受力繩(7)中部連接，牽引繩(8)另一端纏繞在卷線筒(13)上；還包括左支撐柱(15)、右支撐柱(16)、橫板(17)、滑動板(18)、轉動桿(19)、左連接板(20)、右連接板、第二電機(21)和氣缸(22)，所述左支撐柱(15)和右支撐柱(16)底端分別與工作臺(1)頂端左半區域和右半區域連接，左支撐柱(15)和右支撐柱(16)頂端分別與橫板(17)底端左半區域和右半區域連接，所述橫板(17)底端中央區域設置有穩定槽，所述左連接板(20)和右連接板頂端分別與橫板(17)底端左半區域和右半區域連接，左連接板(20)和右連接板左側壁中央區域分別橫向設置有左轉動孔和右轉動孔，所述第二電機(21)安裝在橫板(17)底端左半區域，所述轉動桿(19)左端與第二電機(21)右部輸出端連接，轉動桿(19)右端穿過左轉動孔并插入至右轉動孔內，并在轉動桿(19)與左轉動孔和右轉動孔內側壁之間分別設置有第一左滾珠軸承(23)和第一右滾珠軸承，轉動桿(19)外側壁中央區域設置有外螺紋，所述滑動板(18)螺裝套設在轉動桿(19)外側，滑動板(18)頂端伸入至穩定槽內，所述氣缸(22)頂端與滑動板(18)底端中央區域連接，氣缸(22)底部輸出端設置有伸縮桿(24)，打蠟塊(3)安裝在伸縮桿(24)底端。

2.如權利要求1所述的一種碳化硅晶片研磨工藝用的上蠟裝置，其特征在于，兩組貫通孔內分別設置有兩組第二滾珠軸承(25)，轉軸(12)右端依次穿過兩組第二滾珠軸承(25)并分別與兩組第二滾珠軸承(25)鍵連接。

3.如權利要求2所述的一種碳化硅晶片研磨工藝用的上蠟裝置，其特征在于，還包括穩定桿(26)，所述滑動板(18)左側壁上半區域橫向設置有滑動孔，所述穩定桿(26)左端與穩定槽內左側壁中央區域連接，穩定桿(26)右端穿過滑動孔并與穩定槽內右側壁中央區域連接。

4.如權利要求3所述的一種碳化硅晶片研磨工藝用的上蠟裝置，其特征在于，還包括緩沖墊(27)，所述緩沖墊(27)安裝在工作臺(1)頂端中央區域。

5.如權利要求4所述的一種碳化硅晶片研磨工藝用的上蠟裝置，其特征在于，左壓緊板(6)和右壓緊板均為弧形結構。

6.如權利要求5所述的一種碳化硅晶片研磨工藝用的上蠟裝置，其特征在于，左壓緊板(6)右側壁和右壓緊板左側壁分別設置有左防滑墊(28)和右防滑墊。