[實用新型]手動上貨輔助裝置

有效

• 申請號: 201920278117.4
• 申請日: 2019-03-05
• 公開（公告）號: CN210048406U
• 公開（公告）日: 2020-02-11
• 發明（設計）人: 李秉隆;馮會來;蔡少夫
• 申請（專利權）人: 芯恩(青島)集成電路有限公司
• 主分類號: B66C23/36
• 分類號: B66C23/36;B66C23/62;B66C23/84;B66C23/76
• 代理公司: 37104 青島高曉專利事務所(普通合伙)
• 代理人: 付麗麗

本實用新型公開了一種手動上貨輔助裝置，其包括移動小車和起吊裝置，所述起吊裝置固定在移動小車上，隨移動小車移動，起吊裝置的起吊臂自由端能夠實現左右和上下兩個方向上的自由活動。其特別適用于小型晶圓廠的晶圓移動，避免直接人工搬運造成人員手部受傷，且搬運過程中會對晶圓造成磨損。

技術領域

本實用新型屬于半導體制備相關設備技術領域，特別涉及一種手動上貨輔助裝置。

背景技術

在半導體加工過程中，為了避免各種污染或靜放電損害晶圓，在存儲和運輸的過程中一般將晶圓放置在晶圓盒內(如前開式晶圓盒)。一個裝滿25片晶圓的前開式晶圓盒重量約7～8公斤，在實際應用中，半導體廠往往采用固定軌道式全自動傳輸系統(OverheadHoist Transfer，OHT)將晶圓盒在各加工設備之間傳遞。OHT系統雖然能夠提高半導體加工效率，但是其建設成本高，對于一些小型的或者初建的半導體廠，其整廠工藝路線未建設完全，經費緊張，配置OHT的條件不成熟。然而若直接采用人工上貨，7～8公斤的晶圓盒容易造成人員手部受傷，且搬運過程中會對晶圓造成磨損。為此，本發明提供一種手動上貨輔助裝置。

實用新型內容：

為了克服現有技術中存在的不足，本實用新型尋求一種手動上貨輔助裝置，通過該裝置輔助人工上貨過程，避免對晶圓造成磨損，甚至對工人造成傷害。

為了實現上述目的，本實用新型采用以下技術方案：

手動上貨輔助裝置包括移動小車和起吊裝置，所述起吊裝置固定在移動小車上，隨移動小車移動，起吊裝置的起吊臂自由端能夠實現左右和上下兩個方向上的自由活動。

起吊裝置包括基座、旋轉柱、起吊臂、鋼絲繩、配重塊、軌道；基座固定在移動小車上部的平臺上，旋轉柱底端與基座轉動連接，起吊臂一端通過轉軸固定在旋轉柱頂端附近，鋼絲繩一端與起吊臂自由端連接后，繞過旋轉柱頂部固定的滑輪組與配重塊連接，配重塊沿移動小車側邊固定的軌道上下移動，在驅動電機的帶動下配重塊沿軌道上下移動，進而通過鋼絲繩帶動起吊臂自由端上下移動，而旋轉柱繞基座轉動，實現起吊臂自由端的左右移動。

手動上貨輔助裝置還包括安裝在起吊臂自由端下部的抓手，所述抓手用于夾持晶圓盒。

本實用新型與現有技術相比，具有以下優點：特別適用于小型晶圓廠的晶圓移動，避免直接人工搬運造成人員手部受傷，且搬運過程中會對晶圓造成磨損。

附圖說明

圖1為實施例1涉及的手動上貨輔助裝置的結構原理示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型做進一步說明。

實施例1：

本實施例涉及的手動上貨輔助裝置包括移動小車1和起吊裝置，在移動小車1底部固定安裝萬向輪，所述起吊裝置固定在移動小車1上，隨移動小車1移動，起吊裝置的起吊臂自由端能夠實現左右和上下兩個方向上的自由活動。

起吊裝置包括基座6、旋轉柱5、起吊臂2、鋼絲繩3、配重塊8、軌道7；基座6固定在移動小車1上部的平臺上，旋轉柱5底端與基座6轉動連接，起吊臂2一端通過轉軸固定在旋轉柱5頂端附近，鋼絲繩3一端與起吊臂自由端連接后，繞過旋轉柱5頂部固定的滑輪組4與配重塊8連接，配重塊8沿移動小車1側邊固定的軌道7上下移動，在第一驅動電機的帶動下配重塊8沿軌道7上下移動，進而通過鋼絲繩3帶動起吊臂2自由端上下移動，在第二驅動電機的作用下旋轉柱5繞基座6轉動，實現起吊臂2自由端的左右移動。

手動上貨輔助裝置還包括安裝在起吊臂自由端下部的抓手(圖中未畫出)，所述抓手用于夾持晶圓盒。另外，也可將晶圓盒懸掛在起吊臂自由端下部。