[實用新型]一種配向膜涂布檢測裝置

有效

• 申請號: 201920258169.5
• 申請日: 2019-03-01
• 公開（公告）號: CN209992419U
• 公開（公告）日: 2020-01-24
• 發明（設計）人: 陳化平
• 申請（專利權）人: 昆山龍騰光電有限公司
• 主分類號: G01N25/00
• 分類號: G01N25/00;G01N21/88;G02F1/13
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種配向膜涂布檢測裝置，包括涂布機臺(10)、預烘烤機臺(20)和光學檢查機(30)，所述預烘烤機臺(20)包括給已涂布配向膜的待檢測基板(100)加熱的加熱板(220)，其特征在于，所述預烘烤機臺(20)還包括對待檢測基板(100)檢測缺陷的基板檢測裝置(230)；

所述基板檢測裝置(230)包括設置在所述待檢測基板(100)上方的成像單元(250)、與所述成像單元(250)和所述加熱板(220)連接的控制單元(240)；所述成像單元(250)收集所述待檢測基板(100)在加熱中的膜面圖像并反饋給所述控制單元(240)，所述控制單元(240)控制所述加熱板(220)的溫度并根據所述膜面圖像確定所述待檢測基板(100)中缺陷的位置。

2.如權利要求1所述的一種配向膜涂布檢測裝置，其特征在于，所述控制單元(240)包括溫度控制單元(241)、存儲單元(243)、分析單元(244)；

所述溫度控制單元(241)根據待檢測基板(100)的預烘烤溫度控制所述加熱板(220)的加熱溫度；所述存儲單元(243)用于存儲所述待檢測基板(100)在加熱中多個膜面圖像信息；所述分析單元(244)根據所述膜面圖像來確定所述待檢測基板(100)中缺陷的位置。

3.如權利要求2所述的一種配向膜涂布檢測裝置，其特征在于，所述控制單元(240)還包括與所述溫度控制單元(241)相連接的溫度傳感器(242)，所述溫度傳感器(242)檢測所述待檢測基板(100)的溫度，所述溫度控制單元(241)根據所述溫度傳感器(242)的反饋調節所述加熱板(220)的加熱溫度。

4.如權利要求3所述的一種配向膜涂布檢測裝置，其特征在于，所述溫度傳感器(242)位于所述待檢測基板(100)的外表面。

5.如權利要求3所述的一種配向膜涂布檢測裝置，其特征在于，所述預烘烤機臺(20)還包括位于待檢測基板(100)下方的支撐架(210)和位于所述支撐架(210)上的支撐柱(211)，所述加熱板(220)上設有多個小孔，所述支撐柱(211)穿過所述加熱板(220)的小孔支撐所述待檢測基板(100)。

6.如權利要求5所述的一種配向膜涂布檢測裝置，其特征在于，所述支撐柱(211)為導熱體，所述溫度傳感器(242)與所述支撐柱(211)相連接以檢測所述待檢測基板(100)的溫度。

7.如權利要求1所述的一種配向膜涂布檢測裝置，其特征在于，所述基板檢測裝置(230)還包括與所述成像單元(250)連接的顯示單元(251)。

8.如權利要求1所述的一種配向膜涂布檢測裝置，其特征在于，所述成像單元(250)為紅外攝像機。

9.如權利要求8所述的一種配向膜涂布檢測裝置，其特征在于，所述紅外攝像機在預定時間段內連續地獲取多個所述膜面圖像。

10.如權利要求1所述的一種配向膜涂布檢測裝置，其特征在于，所述基板檢測裝置(230)還包括警報單元，所述警報單元與所述控制單元(240)相連接，所述警報單元在所述控制單元(240)檢測到所述待檢測基板(100)中缺陷的位置后發出警報。