[實用新型]半導體智能芯片生產(chǎn)設(shè)備的傳送裝置和傳送系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920253596.4
• 申請日: 2019-02-28
• 公開（公告）號: CN209461433U
• 公開（公告）日: 2019-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王寶江;閆炳樺;周妙然
• 申請（專利權(quán)）人: 重慶小馬智誠科技有限責任公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/687
• 代理公司: 重慶雙馬智翔專利代理事務(wù)所(普通合伙) 50241
• 代理人: 方洪

本實用新型涉及智能芯片制造領(lǐng)域，公開了一種半導體智能芯片生產(chǎn)設(shè)備的傳送裝置，包括轉(zhuǎn)盤以及使轉(zhuǎn)盤間歇轉(zhuǎn)動的第一驅(qū)動機構(gòu)，轉(zhuǎn)盤上繞轉(zhuǎn)盤的旋轉(zhuǎn)中心周向均勻的設(shè)有N個傳輸盒，N為正整數(shù)，傳輸盒內(nèi)設(shè)有容納芯片的腔室，該傳輸盒具有打開狀態(tài)和關(guān)閉狀態(tài)。本實用新型的傳輸盒為打開狀態(tài)時，可取、放智能芯片；傳輸盒為關(guān)閉狀態(tài)時，可封裝芯片，一方面可防止芯片脫離傳輸盒的腔室，另一方面起防塵作用。第一驅(qū)動機構(gòu)使轉(zhuǎn)盤間歇轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)盤停止時用于從傳輸盒中取、放芯片。本實用新型的轉(zhuǎn)盤上設(shè)置N個傳輸盒，轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)一周，可實現(xiàn)N個芯片的傳送，傳送效率高；而且傳送過程中，芯片被封裝在傳輸盒內(nèi)，防塵效果好。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及智能芯片制造領(lǐng)域，具體涉及一種半導體智能芯片生產(chǎn)設(shè)備的傳送裝置和傳送系統(tǒng)。

背景技術(shù)

隨著全球電子信息技術(shù)的迅速發(fā)展，智能芯片被廣泛的應(yīng)用于各種電子設(shè)備中。在半導體智能芯片生產(chǎn)過程中，常需采用機械手傳送裝置來實現(xiàn)芯片的傳送，使芯片能夠在不同的工序中移動，從而實現(xiàn)自動化生產(chǎn)；而且智能芯片需要在無塵的環(huán)境中生產(chǎn)制造，因此傳送芯片過程中需將芯片放在防塵的傳輸盒中。

公開號為CN208298803U(公開日為2018.12.28)的中國實用新型專利公開了一種半導體芯片生產(chǎn)設(shè)備的機械手傳送裝置，其將芯片夾持在固定板與上壓板之間，通過電機驅(qū)動絲桿轉(zhuǎn)動的方式使移動塊帶動固定板運動，移動塊運動帶動芯片從上一個工藝腔運動至下一個工藝腔，卸下芯片后，使電機使絲桿反向轉(zhuǎn)動，移動塊空行程返回至初始位置。上述方案存在如下問題：3)固定板與上壓板之間為敞開式，不具有防塵效果，會影響芯片的質(zhì)量；2)移動塊一次只能傳送一個芯片，傳送效率低；3)移動塊空行程返回至初始位置，造成能源的浪費。

實用新型內(nèi)容

為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，本實用新型的一個目的是提供一種半導體智能芯片生產(chǎn)設(shè)備的傳送裝置，以解決現(xiàn)有傳送裝置傳送效率低，無法防塵的問題。

為達到上述目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案：半導體智能芯片生產(chǎn)設(shè)備的傳送裝置，包括轉(zhuǎn)盤以及使轉(zhuǎn)盤間歇轉(zhuǎn)動的第一驅(qū)動機構(gòu)，轉(zhuǎn)盤上繞轉(zhuǎn)盤的旋轉(zhuǎn)中心周向均勻的設(shè)有N個傳輸盒，N為正整數(shù)，傳輸盒內(nèi)設(shè)有容納芯片的腔室，該傳輸盒具有打開狀態(tài)和關(guān)閉狀態(tài)。

上述技術(shù)方案中，傳輸盒為打開狀態(tài)時，可取、放智能芯片；傳輸盒為關(guān)閉狀態(tài)時，可封裝芯片，一方面可防止芯片脫離傳輸盒的腔室，另一方面起防塵作用。第一驅(qū)動機構(gòu)使轉(zhuǎn)盤間歇轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)盤停止時用于從傳輸盒中取、放芯片。本實用新型的轉(zhuǎn)盤上設(shè)置N個傳輸盒，轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)一周，可實現(xiàn)N個芯片的傳送，傳送效率高；而且傳送過程中，芯片被封裝在傳輸盒內(nèi)，防塵效果好。

進一步，第一驅(qū)動機構(gòu)包括電機、主動輪和從動輪；主動輪與電機的輸出軸固接，主動輪的端面上偏心固接有卡柱；從動輪與轉(zhuǎn)盤固接，使轉(zhuǎn)盤隨從動輪轉(zhuǎn)動，從動輪的外周上開設(shè)有N個均勻分布且能夠與卡柱間歇嚙合的卡槽。

通過設(shè)置主動輪和從動輪，使轉(zhuǎn)盤間歇轉(zhuǎn)動，由此在取、放芯片時無需使電機停止轉(zhuǎn)動，避免電機的頻繁啟停，提高電機的壽命。

進一步，傳輸盒包括盒體和盒蓋，盒體與轉(zhuǎn)盤固接，盒體與盒蓋之間形成腔室，傳送裝置還包括使盒蓋向遠離或靠近盒體方向運動的第二驅(qū)動機構(gòu)，以打開或關(guān)閉傳輸盒。

第二驅(qū)動機構(gòu)使盒蓋向遠離或靠近盒體的方向運動，以打開或關(guān)閉傳輸盒，本傳輸裝置可自動打開或關(guān)閉傳輸盒，無需人工打開或關(guān)閉傳輸盒，操作方便。

進一步，第二驅(qū)動機構(gòu)包括固定的凸輪，以及可相對轉(zhuǎn)盤徑向滑動的第一楔形塊，第一楔形塊的一端與凸輪的外壁相抵，第一楔形塊的另一端設(shè)有第一斜面；轉(zhuǎn)盤上固接有支桿，盒蓋與支桿滑動連接，以靠近或遠離盒體；支桿上套設(shè)有彈性件，彈性件的一端與盒蓋連接，彈性件的另一端與轉(zhuǎn)盤或蓋體連接；盒蓋上固設(shè)有第二楔形塊，第二楔形塊上設(shè)有與第一斜面配合的第二斜面，且第一斜面可相對第二斜面滑動。