[實用新型]一種FMM金屬薄板的水平式蝕刻裝置

有效

• 申請號: 201920242065.5
• 申請日: 2019-02-26
• 公開（公告）號: CN209741272U
• 公開（公告）日: 2019-12-06
• 發明（設計）人: 簡旭宏;黃俊銘;陳彥志
• 申請（專利權）人: 上海沅霖企業管理有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08;C23F1/28
• 代理公司: 34115 合肥天明專利事務所(普通合伙)
• 代理人: 婁岳<國際申請>=<國際公布>=<進入國

1.一種FMM金屬薄板的水平式蝕刻裝置，包括裝有蝕刻液的蝕刻容器(1)、以及用以傳送FMM金屬薄板的傳送機構(2)；其特征在于：

FMM金屬薄板通過所述傳送機構(2)在蝕刻容器(1)內呈凹字形或一字形布置；

所述蝕刻容器(1)上開設有進料槽(11)與出料槽(12)，FMM金屬薄板在傳送機構(2)帶動下垂直通過進料槽(11)進入所述蝕刻容器(1)內、并在傳送機構(2)帶動下垂直通過出料槽(12)輸出所述蝕刻容器(1)，FMM金屬薄板呈水平式的浸在所述蝕刻容器(1)內的蝕刻液中。

2.根據權利要求1所述FMM金屬薄板的水平式蝕刻裝置，其特征在于：所述水平式蝕刻裝置還包括設置在蝕刻容器(1)內的噴液機構(3)；

所述噴液機構(3)包括一上一下關于浸在蝕刻液中FMM金屬薄板對稱設置的上噴灑矩陣(31)與下噴灑矩陣(32)，上噴灑矩陣(31)與浸在蝕刻液中FMM金屬薄板之間的距離、下噴灑矩陣(32)與浸在蝕刻液中FMM金屬薄板之間的距離均為H。

3.根據權利要求2所述FMM金屬薄板的水平式蝕刻裝置，其特征在于：所述距離H的取值范圍為10cm≤H≤35cm。

4.根據權利要求2所述FMM金屬薄板的水平式蝕刻裝置，其特征在于：所述上噴灑矩陣(31)與所述下噴灑矩陣(32)均包括在蝕刻液中水平布置的固定支架(301)、沿著所述固定支架往復式移動的移動支架(302)、以及設置于移動支架上表面或下表面的噴嘴(303)；

所述移動支架(302)與所述固定支架(301)相互垂直。

5.根據權利要求4所述FMM金屬薄板的水平式蝕刻裝置，其特征在于：兩相鄰所述噴嘴(303)之間的間距ΔX與所述噴嘴(303)和FMM金屬薄板之間的間距H之間存在ΔX:H＝5:3的關系。

6.根據權利要求4或5所述FMM金屬薄板的水平式蝕刻裝置，其特征在于：所述噴嘴(303)為可搖擺式噴嘴；

所述噴嘴(303)的擺動角度為α、且所述擺動角度α的取值范圍為50°≤α≤130°。

7.根據權利要求1所述FMM金屬薄板的水平式蝕刻裝置，其特征在于：當FMM金屬薄板在蝕刻容器(1)內呈凹字形布置時，所述進料槽(11)與所述出料槽(12)對稱開設于蝕刻容器(1)的上表面；

當FMM金屬薄板在蝕刻容器(1)內呈一字形布置時，所述進料槽(11)開設于蝕刻容器(1)的一側端面、所述出料槽(12)開設于蝕刻容器(1)的另一側端面。

8.根據權利要求1或7所述FMM金屬薄板的水平式蝕刻裝置，其特征在于：當FMM金屬薄板在蝕刻容器(1)內呈凹字形布置時，所述傳送機構(2)包括設置于進料槽上方的進料輪(21)與進料支撐輪(22)、設置于出料槽上方的出料輪(24)與出料支撐輪(25)、以及設置于蝕刻容器中兩中間輪(23)，所述進料支撐輪(22)與浸在蝕刻液中的一中間輪(23)位于同一豎直線上、所述出料支撐輪(25)與浸在蝕刻液中的另一中間輪(23)位于同一豎直線上；

當FMM金屬薄板在蝕刻容器(1)內呈一字形布置時，所述傳送機構(2)包括設置于進料槽外側的進料輪(21)與進料支撐輪(22)、以及設置于出料槽外側的出料輪(24)與出料支撐輪(25)，所述進料輪(21)與出料輪(24)位于同一水平線上、且所述進料支撐輪(22)與所述出料支撐輪(25)位于同一水平線上。