[實(shí)用新型]一種可吹掃的黑硅制絨裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920240563.6
• 申請日: 2019-02-26
• 公開（公告）號(hào): CN209526072U
• 公開（公告）日: 2019-10-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫鵬;鄭守春;張良;唐駿;席珍強(qiáng);余剛
• 申請（專利權(quán)）人: 鎮(zhèn)江仁德新能源科技有限公司;鎮(zhèn)江榮德新能源科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32249
• 代理人: 陳國強(qiáng)

1.一種可吹掃的黑硅制絨裝置，其特征在于：包括機(jī)械臂(1)、預(yù)脫水槽槽體(2)和晶片籃(3)，所述預(yù)脫水槽槽體(2)的頂部設(shè)置有開口，所述預(yù)脫水槽槽體(2)內(nèi)盛有純水液(5)，位于純水液(5)液面以上的預(yù)脫水槽槽體(2)側(cè)壁上安裝有氣體通孔(8)，氣流(10)自預(yù)脫水槽槽體(2)外穿過若干個(gè)氣體通孔(8)吹向預(yù)脫水槽槽體(2)內(nèi)部，所述機(jī)械臂(1)的下段連接有晶片籃(3)，所述晶片籃(3)內(nèi)放置若干塊硅片(4)，所述機(jī)械臂(1)帶動(dòng)晶片籃(3)上下運(yùn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可吹掃的黑硅制絨裝置，其特征在于：所述預(yù)脫水槽槽體(2)的側(cè)壁上設(shè)置有若干個(gè)氣體吹掃蓋板安裝口(6)，每個(gè)氣體吹掃蓋板安裝口(6)上均安裝有氣體吹掃蓋板(7)，每個(gè)氣體吹掃蓋板(7)上設(shè)置有若干個(gè)氣體通孔(8)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可吹掃的黑硅制絨裝置，其特征在于：所述氣體吹掃蓋板安裝口(6)位于純水液(5)液面以上0.5-3cm處的預(yù)脫水槽槽體(2)側(cè)壁上。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可吹掃的黑硅制絨裝置，其特征在于：所述氣體吹掃蓋板(7)上的氣體通孔(8)分為3種，分別是水平通孔、斜向上通孔和斜向下通孔，其中：水平通孔的孔內(nèi)壁與純水液(5)液面平行，氣體經(jīng)過水平通孔，水平吹入預(yù)脫水槽槽體(2)內(nèi)部，斜向上通孔的孔內(nèi)壁相較于純水液(5)液面傾斜向上，氣體經(jīng)過斜向上通孔，向上吹入預(yù)脫水槽槽體(2)內(nèi)部，斜向下通孔的孔內(nèi)壁相較于純水液(5)液面傾斜向下，氣體經(jīng)過斜向下通孔，向下吹入預(yù)脫水槽槽體(2)內(nèi)部。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的可吹掃的黑硅制絨裝置，其特征在于：所述氣體吹掃蓋板(7)上自上而下依次設(shè)置斜向上通孔、水平通孔和斜向下通孔，斜向上通孔為若干個(gè)，呈陣列式排布，所述水平通孔為若干個(gè)，呈陣列式排布，所述斜向下通孔為若干個(gè)，呈陣列式排布。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的可吹掃的黑硅制絨裝置，其特征在于：所述斜向上通孔的延長線與水平通孔的延長線呈15-45°夾角，所述斜向下通孔的延長線與水平通孔的延長線呈15-45°夾角。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可吹掃的黑硅制絨裝置，其特征在于：所述機(jī)械臂(1)包括4根機(jī)械桿(11)，4根機(jī)械桿(11)兩兩為一組，每組機(jī)械桿(11)分別與晶片籃(3)相對(duì)的兩個(gè)側(cè)壁連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可吹掃的黑硅制絨裝置，其特征在于：所述氣體吹掃蓋板(7)上位于預(yù)脫水槽槽體(2)側(cè)壁外側(cè)的一端連接有氣體吹掃蓋檐(12)，氣體吹掃蓋板(7)置于氣體吹掃蓋板安裝口(6)內(nèi)，氣體吹掃蓋檐(12)的內(nèi)側(cè)貼于預(yù)脫水槽槽體(2)側(cè)壁外側(cè)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的可吹掃的黑硅制絨裝置，其特征在于：所述氣體吹掃蓋板安裝口(6)與氣體吹掃蓋板(7)過盈配合。

10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可吹掃的黑硅制絨裝置，其特征在于：所述預(yù)脫水槽槽體(2)外，位于氣體吹掃蓋板(7)的外側(cè)，設(shè)置有吹風(fēng)裝置，吹風(fēng)裝置吹動(dòng)氣體穿過若干個(gè)氣體通孔(8)吹向預(yù)脫水槽槽體(2)內(nèi)的硅片(4)。