[實用新型]一種可吹掃的黑硅制絨裝置

有效

• 申請號: 201920240563.6
• 申請日: 2019-02-26
• 公開（公告）號: CN209526072U
• 公開（公告）日: 2019-10-22
• 發明（設計）人: 孫鵬;鄭守春;張良;唐駿;席珍強;余剛
• 申請（專利權）人: 鎮江仁德新能源科技有限公司;鎮江榮德新能源科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙) 32249
• 代理人: 陳國強

1.一種可吹掃的黑硅制絨裝置，其特征在于：包括機械臂(1)、預脫水槽槽體(2)和晶片籃(3)，所述預脫水槽槽體(2)的頂部設置有開口，所述預脫水槽槽體(2)內盛有純水液(5)，位于純水液(5)液面以上的預脫水槽槽體(2)側壁上安裝有氣體通孔(8)，氣流(10)自預脫水槽槽體(2)外穿過若干個氣體通孔(8)吹向預脫水槽槽體(2)內部，所述機械臂(1)的下段連接有晶片籃(3)，所述晶片籃(3)內放置若干塊硅片(4)，所述機械臂(1)帶動晶片籃(3)上下運動。

2.根據權利要求1所述的可吹掃的黑硅制絨裝置，其特征在于：所述預脫水槽槽體(2)的側壁上設置有若干個氣體吹掃蓋板安裝口(6)，每個氣體吹掃蓋板安裝口(6)上均安裝有氣體吹掃蓋板(7)，每個氣體吹掃蓋板(7)上設置有若干個氣體通孔(8)。

3.根據權利要求2所述的可吹掃的黑硅制絨裝置，其特征在于：所述氣體吹掃蓋板安裝口(6)位于純水液(5)液面以上0.5-3cm處的預脫水槽槽體(2)側壁上。

4.根據權利要求2所述的可吹掃的黑硅制絨裝置，其特征在于：所述氣體吹掃蓋板(7)上的氣體通孔(8)分為3種，分別是水平通孔、斜向上通孔和斜向下通孔，其中：水平通孔的孔內壁與純水液(5)液面平行，氣體經過水平通孔，水平吹入預脫水槽槽體(2)內部，斜向上通孔的孔內壁相較于純水液(5)液面傾斜向上，氣體經過斜向上通孔，向上吹入預脫水槽槽體(2)內部，斜向下通孔的孔內壁相較于純水液(5)液面傾斜向下，氣體經過斜向下通孔，向下吹入預脫水槽槽體(2)內部。

5.根據權利要求4所述的可吹掃的黑硅制絨裝置，其特征在于：所述氣體吹掃蓋板(7)上自上而下依次設置斜向上通孔、水平通孔和斜向下通孔，斜向上通孔為若干個，呈陣列式排布，所述水平通孔為若干個，呈陣列式排布，所述斜向下通孔為若干個，呈陣列式排布。

6.根據權利要求4所述的可吹掃的黑硅制絨裝置，其特征在于：所述斜向上通孔的延長線與水平通孔的延長線呈15-45°夾角，所述斜向下通孔的延長線與水平通孔的延長線呈15-45°夾角。

7.根據權利要求1所述的可吹掃的黑硅制絨裝置，其特征在于：所述機械臂(1)包括4根機械桿(11)，4根機械桿(11)兩兩為一組，每組機械桿(11)分別與晶片籃(3)相對的兩個側壁連接。

8.根據權利要求2所述的可吹掃的黑硅制絨裝置，其特征在于：所述氣體吹掃蓋板(7)上位于預脫水槽槽體(2)側壁外側的一端連接有氣體吹掃蓋檐(12)，氣體吹掃蓋板(7)置于氣體吹掃蓋板安裝口(6)內，氣體吹掃蓋檐(12)的內側貼于預脫水槽槽體(2)側壁外側。

9.根據權利要求8所述的可吹掃的黑硅制絨裝置，其特征在于：所述氣體吹掃蓋板安裝口(6)與氣體吹掃蓋板(7)過盈配合。

10.根據權利要求2所述的可吹掃的黑硅制絨裝置，其特征在于：所述預脫水槽槽體(2)外，位于氣體吹掃蓋板(7)的外側，設置有吹風裝置，吹風裝置吹動氣體穿過若干個氣體通孔(8)吹向預脫水槽槽體(2)內的硅片(4)。