[實用新型]石英坩堝氣泡空乏層測厚儀

有效

• 申請號: 201920228592.0
• 申請日: 2019-02-20
• 公開（公告）號: CN209512781U
• 公開（公告）日: 2019-10-18
• 發明（設計）人: 杜興林;祝立君;馬俊飛;章北銘
• 申請（專利權）人: 內蒙古歐晶科技股份有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種石英坩堝氣泡空乏層測厚儀，其包括檢測底座和電視顯微鏡；檢測底座包括兩個豎直設置的支架，在兩個支架頂部之間固定設有顯微鏡固定板，在顯微鏡固定板上設有電視顯微鏡，電視顯微鏡的物鏡置于顯微鏡固定板下方的兩個支架之間；在物鏡的鏡頭側壁上設有與電視顯微鏡的光軸平行設置的鏡頭同步桿，在物鏡鏡片下方的鏡頭同步桿端頭設有與電視顯微鏡的光軸垂直的基準桿；基準桿的頂端置于電視顯微鏡的視野內；在基準桿的底面上設有微動開關。優點在于：在不破壞石英坩堝的結構的同時，快速檢測測量石英坩堝氣泡空乏層厚度；檢測成本低，速度快，保證生產效率；可以對每個石英坩堝進行檢測，檢測結果快速準確。

技術領域：

本實用新型涉及一種測量設備，尤其涉及一種石英坩堝氣泡空乏層測厚儀。

背景技術：

電弧法生產石英坩堝(以下簡稱石英坩堝)是目前世界生產坩堝最先進的技術，是以電弧為熱源，離心成型的工藝制造坩堝，可在1450度以下使用，分透明和半透明兩種。隨著現代的拉晶技術的改進，已使用不透明石英坩堝替代了透明石英坩堝。用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅，發展大規模集成電路必不可少的基礎材料。半透明石英坩堝具有高純度、耐溫性強、尺寸大精度高、保溫性好、節約能源、質量穩定等優點。

半透明石英坩堝存在兩種結構，外側是一層具有高氣泡密度的區域，稱為氣泡復合層，內側則是一層3mm-5mm的透明層，稱之為氣泡空乏層。氣泡復合層的目的在于均勻的輻射加熱器所提供的輻射熱源；氣泡空乏層的目的在于降低接觸溶液附近區域的氣泡密度，配合內表面的涂鋇技術，減少長時間高溫運行后氣泡膨脹破裂對拉晶的影響、避免拉晶時硅液直接接觸石英坩堝本體發生反應，從而改善單晶生長的成功率及晶棒品質。

石英坩堝透明層厚度直接影響到了拉制單晶時的熱傳遞、拉晶過程及品質，目前國內生產石英坩堝對透明層厚度只能采取將石英坩堝敲破，各部位取樣，用游標卡尺測量的破壞性抽樣檢測方法。不足之處在于：采用破壞性檢測，檢測成本高；只能進行抽查，檢測結果有局限性；檢測速度慢，影響生產效率。

實用新型內容：

本實用新型的目的在于提供一種在不破壞石英坩堝的結構的同時，快速檢測測量石英坩堝透明層厚度的石英坩堝氣泡空乏層測厚儀。

本實用新型由如下技術方案實施：石英坩堝氣泡空乏層測厚儀，其包括檢測底座和電視顯微鏡；所述檢測底座包括兩個豎直設置的支架，在兩個所述支架頂部之間固定設有顯微鏡固定板，在所述顯微鏡固定板上設有所述電視顯微鏡，所述電視顯微鏡的物鏡置于所述顯微鏡固定板下方的兩個所述支架之間；在所述物鏡的鏡頭側壁上設有與所述電視顯微鏡的光軸平行設置的鏡頭同步桿，在所述物鏡鏡片下方的所述鏡頭同步桿端頭設有與所述電視顯微鏡的光軸垂直的基準桿；所述基準桿的頂端置于所述電視顯微鏡的視野內；在所述基準桿的底面上設有微動開關。

優選的，在所述物鏡的鏡頭側壁上固定套設有固定架；在所述固定架頂面上固定設有L形限位架；所述L形限位架的一端邊豎直固定在所述固定架的頂面上，所述L形限位架的另一端邊與所述固定架的頂面平行；在所述L形限位架另一端邊下方的所述固定架上開有通孔；在所述通孔內上下滑動設有所述鏡頭同步桿；在所述固定架上方的所述鏡頭同步桿端頭與所述L形限位架另一端底面之間設有調節彈簧。

優選的，在每個所述支架兩側端底部分別設有一個支撐腳，在每個所述支撐腳上套設有柔性材料制成的緩沖套。

優選的，在每個所述支架兩側端底部分別設有一個支撐腳，在每個所述支架底部的所述支撐腳之間轉動設有一根支撐輥，兩個所述支架底部的兩根所述支撐輥平行設置。

本實用新型的優點：在不破壞石英坩堝的結構的同時，快速檢測測量石英坩堝氣泡空乏層厚度；檢測成本低，速度快，保證生產效率；可以對每個石英坩堝進行檢測，檢測結果快速準確。

附圖說明：

圖1為實施例1的整體結構示意圖。

圖2為圖1的側視圖。