[實用新型]石英坩堝氣泡空乏層測厚儀

有效

• 申請號: 201920228592.0
• 申請日: 2019-02-20
• 公開（公告）號: CN209512781U
• 公開（公告）日: 2019-10-18
• 發明（設計）人: 杜興林;祝立君;馬俊飛;章北銘
• 申請（專利權）人: 內蒙古歐晶科技股份有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.石英坩堝氣泡空乏層測厚儀，其特征在于，其包括檢測底座和電視顯微鏡；所述檢測底座包括兩個豎直設置的支架，在兩個所述支架頂部之間固定設有顯微鏡固定板，在所述顯微鏡固定板上設有所述電視顯微鏡，所述電視顯微鏡的物鏡置于所述顯微鏡固定板下方的兩個所述支架之間；在所述物鏡的鏡頭側壁上設有與所述電視顯微鏡的光軸平行設置的鏡頭同步桿，在所述物鏡鏡片下方的所述鏡頭同步桿端頭設有與所述電視顯微鏡的光軸垂直的基準桿；所述基準桿的頂端置于所述電視顯微鏡的視野內；在所述基準桿的底面上設有微動開關。

2.根據權利要求1所述的石英坩堝氣泡空乏層測厚儀，其特征在于，在所述物鏡的鏡頭側壁上固定套設有固定架；在所述固定架頂面上固定設有L形限位架；所述L形限位架的一端邊豎直固定在所述固定架的頂面上，所述L形限位架的另一端邊與所述固定架的頂面平行；在所述L形限位架另一端邊下方的所述固定架上開有通孔；在所述通孔內上下滑動設有所述鏡頭同步桿；在所述固定架上方的所述鏡頭同步桿端頭與所述L形限位架另一端底面之間設有調節彈簧。

3.根據權利要求1或2任一所述的石英坩堝氣泡空乏層測厚儀，其特征在于，在每個所述支架兩側端底部分別設有一個支撐腳，在每個所述支撐腳上套設有柔性材料制成的緩沖套。

4.根據權利要求1或2任一所述的石英坩堝氣泡空乏層測厚儀，其特征在于，在每個所述支架兩側端底部分別設有一個支撐腳，在每個所述支架底部的所述支撐腳之間轉動設有一根支撐輥，兩個所述支架底部的兩根所述支撐輥平行設置。