[實用新型]微型檢測裝置

有效

• 申請號: 201920226975.4
• 申請日: 2019-02-20
• 公開（公告）號: CN210338286U
• 公開（公告）日: 2020-04-17
• 發明（設計）人: 莫皓然;黃啟峰;韓永隆;蔡長諺;李偉銘;陳宣愷;郭俊毅
• 申請（專利權）人: 研能科技股份有限公司
• 主分類號: B64C39/02
• 分類號: B64C39/02;B64D47/08;G01D21/00
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 聶慧荃;鄭特強

1.一種微型檢測裝置，其特征在于，包含：

一飛行主體；

至少一流體作動系統，設置于該飛行主體內，包含：

一驅動模塊，由多個導流單元組成，每一導流單元受控制致動，借以傳輸流體；

一導流通道，具有多個分歧通道，每一分歧通道連通多個連接通道，借以分流流體以構成需求的傳輸量；

一匯流腔室，連通于相對應的兩分歧通道間，供流體累積于內；

多個閥，每一閥對應設置于相對應的連接通道中，借以控制該連接通道的開關狀態；以及

一流體輸出區，連接該多個連接通道，供以匯集流體以輸出需求的傳輸量；

一影像擷取系統，用以擷取該微型檢測裝置之外部影像；以及

一控制器，控制該多個閥的開關狀態來提供該飛行主體于飛行時所需的驅動力、控制該飛行主體的飛行狀態、以及控制該影像擷取系統的運作。

2.如權利要求1所述的微型檢測裝置，其特征在于，每一導流單元包含：

一進流板，具有至少一入流口；

一基座，堆疊架構在該進流板上，并具有一連通道，供與該入流口相連通；

一共振板，堆疊架構在該基座之上，具有一中空孔洞、一可動部及一固定部，該中空孔洞設置于該共振板的中心位置，與該基座的該連通道的位置相對應，該可動部設置在該中空孔洞周緣，且于不與該基座接觸的部分形成一可撓結構，該固定部設置于與該基座連結接觸的部分；

一間隔體，堆疊架構在該共振板的該固定部部分，并于中心處凹設一緩沖腔室；

一致動體，堆疊架構在該間隔體之上，具有一懸浮部、一外框部、多個連接部、多個空隙以及一壓電元件，該懸浮部透過該多個連接部連接該外框部，致使該懸浮部得以彈性位移，該多個空隙介于該懸浮部與該外框部之間，供流體流通，以及該壓電元件貼附于該懸浮部的一表面；以及

一出流板，由一腔體板被一蓋板堆疊架構所構成，該腔體板堆疊架構在該致動體之上，且中心設有一出流腔室，該蓋板封蓋該致動體，且具有一出流口，供與該出流腔室相連通；

其中，該致動體的該壓電元件受驅動而連動該懸浮部于該出流腔室與該緩沖腔室之間產生往復式振動，致使該出流腔室與該緩沖腔室形成一壓力差，讓流體由該進流板的該入流口進入該連通道，再流經該共振板的該中空孔洞，以進入該緩沖腔室內受壓縮，并由該致動體的該多個空隙導入該出流腔室內，最后由該出流板的該出流口導出。

3.如權利要求1所述的微型檢測裝置，其特征在于，每一閥包含：

一通道基座，具有一第一通孔、一第二通孔、一第一出口及一第二出口，該第一通孔及該第二通孔相互間隔設置，該第一通孔及該第二通孔與該連接通道相連通，該通道基座凹設一腔室，該腔室透過該第一出口與該第一通孔相連通，該腔室透過該第二出口與該第二通孔相連通；

一壓電致動器，包含一載板及一壓電材料，該載板封蓋于該腔室上，而該壓電材料貼附于該載板的一表面上，并電性連接該控制器；以及

一連桿，連接于該載板的另一表面上，并穿伸入該第二出口中，沿一垂直于該載板的方向自由位移，且該連桿的一端具有截面積大于該第二出口的孔徑的一擋阻部，借以封閉該第二出口；

其中，該壓電致動器受致動而驅動該載板位移，進而連動該連桿的該擋阻部位移，借以控制該第二出口的啟閉狀態。

4.如權利要求1所述的微型檢測裝置，其特征在于，該多個導流單元以串聯排列設置于該驅動模塊。

5.如權利要求1所述的微型檢測裝置，其特征在于，該多個導流單元以并聯排列設置該驅動模塊。

6.如權利要求1所述的微型檢測裝置，其特征在于，該多個導流單元以串并聯排列設置于該驅動模塊。

7.如權利要求1所述的微型檢測裝置，其特征在于，該多個導流單元以環狀排列設置于該驅動模塊。

8.如權利要求1所述的微型檢測裝置，其特征在于，該多個導流單元以蜂巢狀排列設置于該驅動模塊。

9.如權利要求1所述的微型檢測裝置，其特征在于，每一導流單元尺寸范圍為1毫米至999毫米。