[實用新型]一種半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)設(shè)備的機械手傳送裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920218983.4
• 申請日: 2019-02-21
• 公開（公告）號: CN209266380U
• 公開（公告）日: 2019-08-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 彭朝亮
• 申請（專利權(quán)）人: 華芯智造微電子（重慶）股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)設(shè)備的機械手傳送裝置，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）上側(cè)側(cè)壁設(shè)有兩個對稱設(shè)置的安裝板（2），兩個所述安裝板（2）的上端設(shè)有加工裝置，所述底座（1）的上側(cè)側(cè)壁設(shè)有輸送裝置，且安裝板（2）上設(shè)有出料口（3），所述底座（1）的一側(cè)設(shè)有收集裝置，且收集裝置靠近出料口（3）設(shè)置，所述出料口（3）上設(shè)有出料板（19），所述底座（1）的上方設(shè)有兩個對稱設(shè)置的夾持裝置，且兩個夾持裝置均通過電動伸縮桿（4）與安裝板（2）的側(cè)壁連接，兩個所述夾持裝置位于加工裝置與輸送裝置之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)設(shè)備的機械手傳送裝置，其特征在于，所述加工裝置包括水平設(shè)置的第一支板（5），所述第一支板（5）的下側(cè)側(cè)壁橫向設(shè)有開口朝向輸送裝置的滑槽（6），所述滑槽（6）內(nèi)固定連接有水平設(shè)置的固定桿（7），且固定桿（7）上套設(shè)有豎直設(shè)置的連接桿（8），所述連接桿（8）的下端活動卡接有加工頭（9）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)設(shè)備的機械手傳送裝置，其特征在于，所述輸送裝置包括水平設(shè)置的輸送履帶（10），所述底座（1）上設(shè)有驅(qū)動電機（11），且驅(qū)動電機（11）的輸出端與輸送履帶（10）連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)設(shè)備的機械手傳送裝置，其特征在于，所述收集裝置包括收集槽（12），所述收集槽（12）內(nèi)設(shè)有水平設(shè)置的緩沖板（13），且緩沖板（13）通過多個第一彈簧與收集槽（12）的底壁連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)設(shè)備的機械手傳送裝置，其特征在于，兩個所述夾持裝置均包括豎直設(shè)置的第二支板（14），兩個所述第二支板（14）相對的一側(cè)側(cè)壁均固定連接有水平設(shè)置的第三支板（15），兩個所述第三支板（15）的上端均通過多個第二彈簧連接有水平設(shè)置的第四支板（16），且兩個第四支板（16）均與第二支板（14）的側(cè)壁滑動連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)設(shè)備的機械手傳送裝置，其特征在于，兩個所述第三支板（15）與兩個第四支板（16）之間均設(shè)有拉桿（17），且兩個拉桿（17）均貫穿第四支板（16）設(shè)置，兩個所述第四支板（16）的上側(cè)側(cè)壁均滑動連接有與拉桿（17）匹配設(shè)置的滑動鎖塊（18）。