[實用新型]一種晶圓片的激光切割裝置

有效

• 申請號: 201920214675.4
• 申請日: 2019-02-20
• 公開（公告）號: CN209919117U
• 公開（公告）日: 2020-01-10
• 發明（設計）人: 陳義紅;李貴林;陳聰;李陵江
• 申請（專利權）人: 廣州安特激光技術有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/402;B23K26/70;B23K26/03
• 代理公司: 44295 廣州海心聯合專利代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 黃為

1.一種晶圓片的激光切割裝置，包括機臺(1)和設置在機臺(1)上的晶圓片切割裝置，其特征在于，所述機臺(1)的進料側和出料側皆設有輸送晶圓片的輸送機構(2)，兩個所述輸送機構(2)之間設有晶圓片的拍攝定位機構(4)，所述拍攝定位機構(4)的一側設有晶圓片的吸取機構(3)，所述拍攝定位機構(4)一側設有能夠上下移動的激光切割器(5)。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓片的激光切割裝置，其特征在于，所述輸送機構(2)包括安裝架(21)，所述安裝架(21)上邊緣水平設有一在驅動機構(22)的作用下直線往復移動的托料平臺(23)；所述安裝架(21)上部和托料平臺(23)上分別設有位于同一高度且軸線水平延伸的第一轉向輥(211)和導輪(231)；還包括沿托料平臺(23)的移動方向布置且套設在第一轉向輥(211)和導輪(231)上的送料皮帶(24)，安裝架(21)上還設有送料皮帶(24)的動力裝置(25)和皮帶收緊裝置(26)。

3.根據權利要求2所述的一種晶圓片的激光切割裝置，其特征在于，所述安裝架(21)下部的一側設有用于引導送料皮帶(24)水平轉向且能軸向轉動的第二轉向輥(212)，所述安裝架(21)下部的另一側設有用于引導送料皮帶(24)向上轉向的第三轉向輥(213)，所述皮帶收緊裝置(26)設置在第三轉向輥(213)的上部。

4.根據權利要求3所述的一種晶圓片的激光切割裝置，其特征在于，所述皮帶收緊裝置(26)包括一推動機構(261)，所述推動機構(261)的上端面設有一能在推動機構(261)的作用下沿托料平臺(23)的移動方向往復移動的滑蓋(262)，所述滑蓋(262)的上端面設有用于引導送料皮帶(24)向上轉向且能水平移動收緊皮帶的第四轉向輥(263)。

5.根據權利要求1所述的一種晶圓片的激光切割裝置，其特征在于，所述吸取機構(3)包括一沿晶圓片的輸送方向布置的第一水平移動機構(35)，所述第一水平移動機構(35)上設有沿其布置方向往復移動的安裝座(34)，所述安裝座(34)上部設有兩條互相平行的用于吸取晶圓片的機械臂(31)。

6.根據權利要求5所述的一種晶圓片的激光切割裝置，其特征在于，所述機械臂(31)在遠離安裝座(34)的一端的下部設有水平布置且能上下移動的吸盤(32)，所述吸盤(32)設有圍繞其軸心布置的多個吸氣管(33)。

7.根據權利要求1所述的一種晶圓片的激光切割裝置，其特征在于，所述拍攝定位機構(4)包括第二水平移動機構(41)和設置在其一側的固定架(43)，所述第二水平移動機構(41)上設有與第二水平移動機構(41)相聯動的承載臺(42)；所述固定架(43)上連接有攝像頭(44)和位于攝像頭(44)下方的框架(45)，所述框架(45)位于第二水平移動機構(41)的上方且其高度大于承載臺(42)的高度，所述框架(45)內側設有補光燈。

8.根據權利要求7所述的一種晶圓片的激光切割裝置，其特征在于，所述承載臺(42)包括底板(421)，所述底板(421)上設有中空的凸起部(422)，所述凸起部(422)側壁內部形成空腔，所述空腔與設于凸起部(422)側壁上的抽氣管接頭(423)相連通，所述凸起部(422)上側還設有與空腔相連通的吸附部；所述吸附部包括設于凸起部(422)上側的凹槽(422a)和設于凹槽(422a)內的通孔(422b)，所述凹槽(422a)通過通孔(422b)與空腔相連通，所述抽氣管接頭(423)至少為兩個且繞凸起部(422)的中心均勻布置。

9.根據權利要求8所述的一種晶圓片的激光切割裝置，其特征在于，所述凸起部(422)的外側還設有至少三個用于輔助壓緊晶圓片的壓緊裝置(424)，所述壓緊裝置(424)繞凸起部(422)的中心均勻布置，所述壓緊裝置(424)包括壓片(424a)和能帶動壓片(424a)水平轉動的電機(424b)，所述凸起部(422)上側的外邊緣處還留有對應壓片(424a)轉動所需空間的缺口(422d)。

10.根據權利要求7或9所述的一種晶圓片的激光切割裝置，其特征在于，所述第二水平移動機構(41)包括互相垂直布置的第一直線移動機構和第二直線移動機構。