[實用新型]一種晶圓片的激光切割裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920214675.4
• 申請日: 2019-02-20
• 公開（公告）號: CN209919117U
• 公開（公告）日: 2020-01-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳義紅;李貴林;陳聰;李陵江
• 申請（專利權(quán)）人: 廣州安特激光技術(shù)有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/402;B23K26/70;B23K26/03
• 代理公司: 44295 廣州海心聯(lián)合專利代理事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 黃為

1.一種晶圓片的激光切割裝置，包括機(jī)臺(1)和設(shè)置在機(jī)臺(1)上的晶圓片切割裝置，其特征在于，所述機(jī)臺(1)的進(jìn)料側(cè)和出料側(cè)皆設(shè)有輸送晶圓片的輸送機(jī)構(gòu)(2)，兩個所述輸送機(jī)構(gòu)(2)之間設(shè)有晶圓片的拍攝定位機(jī)構(gòu)(4)，所述拍攝定位機(jī)構(gòu)(4)的一側(cè)設(shè)有晶圓片的吸取機(jī)構(gòu)(3)，所述拍攝定位機(jī)構(gòu)(4)一側(cè)設(shè)有能夠上下移動的激光切割器(5)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓片的激光切割裝置，其特征在于，所述輸送機(jī)構(gòu)(2)包括安裝架(21)，所述安裝架(21)上邊緣水平設(shè)有一在驅(qū)動機(jī)構(gòu)(22)的作用下直線往復(fù)移動的托料平臺(23)；所述安裝架(21)上部和托料平臺(23)上分別設(shè)有位于同一高度且軸線水平延伸的第一轉(zhuǎn)向輥(211)和導(dǎo)輪(231)；還包括沿托料平臺(23)的移動方向布置且套設(shè)在第一轉(zhuǎn)向輥(211)和導(dǎo)輪(231)上的送料皮帶(24)，安裝架(21)上還設(shè)有送料皮帶(24)的動力裝置(25)和皮帶收緊裝置(26)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓片的激光切割裝置，其特征在于，所述安裝架(21)下部的一側(cè)設(shè)有用于引導(dǎo)送料皮帶(24)水平轉(zhuǎn)向且能軸向轉(zhuǎn)動的第二轉(zhuǎn)向輥(212)，所述安裝架(21)下部的另一側(cè)設(shè)有用于引導(dǎo)送料皮帶(24)向上轉(zhuǎn)向的第三轉(zhuǎn)向輥(213)，所述皮帶收緊裝置(26)設(shè)置在第三轉(zhuǎn)向輥(213)的上部。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓片的激光切割裝置，其特征在于，所述皮帶收緊裝置(26)包括一推動機(jī)構(gòu)(261)，所述推動機(jī)構(gòu)(261)的上端面設(shè)有一能在推動機(jī)構(gòu)(261)的作用下沿托料平臺(23)的移動方向往復(fù)移動的滑蓋(262)，所述滑蓋(262)的上端面設(shè)有用于引導(dǎo)送料皮帶(24)向上轉(zhuǎn)向且能水平移動收緊皮帶的第四轉(zhuǎn)向輥(263)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓片的激光切割裝置，其特征在于，所述吸取機(jī)構(gòu)(3)包括一沿晶圓片的輸送方向布置的第一水平移動機(jī)構(gòu)(35)，所述第一水平移動機(jī)構(gòu)(35)上設(shè)有沿其布置方向往復(fù)移動的安裝座(34)，所述安裝座(34)上部設(shè)有兩條互相平行的用于吸取晶圓片的機(jī)械臂(31)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種晶圓片的激光切割裝置，其特征在于，所述機(jī)械臂(31)在遠(yuǎn)離安裝座(34)的一端的下部設(shè)有水平布置且能上下移動的吸盤(32)，所述吸盤(32)設(shè)有圍繞其軸心布置的多個吸氣管(33)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓片的激光切割裝置，其特征在于，所述拍攝定位機(jī)構(gòu)(4)包括第二水平移動機(jī)構(gòu)(41)和設(shè)置在其一側(cè)的固定架(43)，所述第二水平移動機(jī)構(gòu)(41)上設(shè)有與第二水平移動機(jī)構(gòu)(41)相聯(lián)動的承載臺(42)；所述固定架(43)上連接有攝像頭(44)和位于攝像頭(44)下方的框架(45)，所述框架(45)位于第二水平移動機(jī)構(gòu)(41)的上方且其高度大于承載臺(42)的高度，所述框架(45)內(nèi)側(cè)設(shè)有補(bǔ)光燈。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種晶圓片的激光切割裝置，其特征在于，所述承載臺(42)包括底板(421)，所述底板(421)上設(shè)有中空的凸起部(422)，所述凸起部(422)側(cè)壁內(nèi)部形成空腔，所述空腔與設(shè)于凸起部(422)側(cè)壁上的抽氣管接頭(423)相連通，所述凸起部(422)上側(cè)還設(shè)有與空腔相連通的吸附部；所述吸附部包括設(shè)于凸起部(422)上側(cè)的凹槽(422a)和設(shè)于凹槽(422a)內(nèi)的通孔(422b)，所述凹槽(422a)通過通孔(422b)與空腔相連通，所述抽氣管接頭(423)至少為兩個且繞凸起部(422)的中心均勻布置。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種晶圓片的激光切割裝置，其特征在于，所述凸起部(422)的外側(cè)還設(shè)有至少三個用于輔助壓緊晶圓片的壓緊裝置(424)，所述壓緊裝置(424)繞凸起部(422)的中心均勻布置，所述壓緊裝置(424)包括壓片(424a)和能帶動壓片(424a)水平轉(zhuǎn)動的電機(jī)(424b)，所述凸起部(422)上側(cè)的外邊緣處還留有對應(yīng)壓片(424a)轉(zhuǎn)動所需空間的缺口(422d)。

10.根據(jù)權(quán)利要求7或9所述的一種晶圓片的激光切割裝置，其特征在于，所述第二水平移動機(jī)構(gòu)(41)包括互相垂直布置的第一直線移動機(jī)構(gòu)和第二直線移動機(jī)構(gòu)。