[實用新型]一種無掩膜光刻機的激光均勻性調制裝置有效
| 申請號： | 201920206574.2 | 申請日： | 2019-02-18 |
| 公開（公告）號： | CN209248251U | 公開（公告）日： | 2019-08-13 |
| 發明（設計）人： | 薛榮 | 申請（專利權）人： | 麥佧仕光電科技(上海)有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 成都明濤智創專利代理有限公司 51289 | 代理人： | 丁國勇 |
| 地址： | 200120 上海市浦東新區中國*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 高壓氣體 激光傳輸 光刻機 光刻 調制裝置 均勻性 激光 掩膜 輸出端連接 激光調節 冷卻管 技術方案要點 本實用新型 溫度傳感器 手柄 部位表面 激光雕刻 激光能量 氣體噴口 實時監測 環形管 聚焦頭 連接管 通過性 噴出 煙塵 保證 | ||
1.一種無掩膜光刻機的激光均勻性調制裝置，包括激光調節頭(1)和調節手柄(2)，所述激光調節頭(1)的輸出端連接有激光傳輸頭(11)，所述激光傳輸頭(11)的輸出端連接有聚焦頭(12)，所述調節手柄(2)連接于所述激光傳輸頭(11)的側壁，其特征在于：所述激光調節頭(1)上還設有溫度傳感器(3)和連接座(4)，所述溫度傳感器(3)固定連接于所述激光傳輸頭(11)的外壁，所述連接座(4)固定連接于所述激光調節頭(1)的外壁，所述連接座(4)的出氣端固定連接有輸送管(41)，所述輸送管(41)的另一端固定連接有高速噴頭(42)，所述連接座(4)的出氣端固定連接有連接管(43)，所述激光傳輸頭(11)的夾層內繞設有冷卻管(44)，所述連接管(43)與所述冷卻管(44)的一端固定連接，所述激光傳輸頭(11)的外壁底端固定連接有環形管(45)，所述冷卻管(44)的出氣端與所述環形管(45)的進氣端固定連接，所述溫度傳感器(3)與光刻機控制器信號連接，所述溫度傳感器(3)與外部電源電性連接。
2.根據權利要求1所述的一種無掩膜光刻機的激光均勻性調制裝置，其特征在于：所述連接座(4)的側壁固定連接有開關(401)，所述連接座(4)的頂端固定連接有輸氣管(402)。
3.根據權利要求1所述的一種無掩膜光刻機的激光均勻性調制裝置，其特征在于：所述輸送管(41)位于所述連接座(4)的底端，且所述輸送管(41)可進行角度調節。
4.根據權利要求1所述的一種無掩膜光刻機的激光均勻性調制裝置，其特征在于：所述連接管(43)位于所述連接座(4)的一側，且所述連接管(43)、所述冷卻管(44)和所述環形管(45)的材質均為銅。
5.根據權利要求1所述的一種無掩膜光刻機的激光均勻性調制裝置，其特征在于：所述冷卻管(44)繞設與所述激光傳輸頭(11)的夾層靠近所述聚焦頭(12)的位置處，且所述冷卻管(44)的頂端位于所述調節手柄(2)的下方。
6.根據權利要求1所述的一種無掩膜光刻機的激光均勻性調制裝置，其特征在于：所述溫度傳感器(3)固定連接于所述激光傳輸頭(11)設有所述冷卻管(44)一端的外壁。
7.根據權利要求1所述的一種無掩膜光刻機的激光均勻性調制裝置，其特征在于：所述環形管(45)的外壁開設有氣體噴口(451)，所述氣體噴口(451)的數量為若干個均勻分布在所述環形管(45)的一周。
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