[實(shí)用新型]一種排氣管路及制程設(shè)備有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201920204577.2 | 申請(qǐng)日： | 2019-02-15 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN209935442U | 公開（公告）日： | 2020-01-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 朱小凡;陳章晏;張文福;劉家樺;葉日銓 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 德淮半導(dǎo)體有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B08B9/032 | 分類號(hào)： | B08B9/032;H01J37/32 |
| 代理公司： | 31295 上海思捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 排氣管 排氣管路 清洗組件 制程設(shè)備 本實(shí)用新型 制程 進(jìn)氣口 結(jié)晶狀況 內(nèi)部環(huán)境 使用壽命 出氣口 化學(xué)品 內(nèi)壁 清洗 殘留 堵塞 保證 維護(hù) | ||
1.一種排氣管路，其特征在于，包括排氣管和清洗組件；
所述排氣管的進(jìn)氣口用于與制程單元的出氣口相連通；
所述清洗組件設(shè)置于所述排氣管內(nèi)，并位于所述排氣管靠近所述制程單元的一端；
所述清洗組件用于對(duì)所述排氣管的內(nèi)壁進(jìn)行清洗。
2.如權(quán)利要求1所述的排氣管路，其特征在于，所述清洗組件包括進(jìn)水管和清洗裝置，所述進(jìn)水管的出水口與所述清洗裝置相連通，所述清洗裝置設(shè)置于所述排氣管內(nèi)部，所述清洗裝置用于對(duì)所述排氣管的內(nèi)壁進(jìn)行清洗。
3.如權(quán)利要求2所述的排氣管路，其特征在于，所述清洗裝置包括清洗管，所述清洗管上設(shè)有多個(gè)開孔，所述清洗管的一端開口，另一端封閉，所述清洗管的開口端與所述進(jìn)水管的出水口相連通。
4.如權(quán)利要求3所述的排氣管路，其特征在于，所述清洗管的軸線與所述排氣管的軸線位于同一直線上。
5.如權(quán)利要求3所述的排氣管路，其特征在于，所述清洗管通過支撐組件與所述排氣管的內(nèi)壁相連。
6.如權(quán)利要求5所述的排氣管路，其特征在于，所述支撐組件包括至少一組支撐架，所述支撐架的一端與所述排氣管的內(nèi)壁相連，所述支撐架的另一端與所述清洗管相連。
7.如權(quán)利要求6所述的排氣管路，其特征在于，所述支撐架為三角支架，所述支撐架包括三條相互對(duì)稱分布的支架。
8.如權(quán)利要求2所述的排氣管路，其特征在于，所述排氣管上設(shè)有排水口，所述排水口位于所述清洗組件遠(yuǎn)離所述制程單元的一側(cè)，所述排氣管路還包括水阻偵測(cè)管，所述水阻偵測(cè)管與所述排水口相連通，所述水阻偵測(cè)管上設(shè)有電阻率計(jì)，所述進(jìn)水管上設(shè)有放水閥，所述電阻率計(jì)和所述放水閥均與一控制器相連，所述控制器用于接收所述電阻率計(jì)反饋的信號(hào)，并用于根據(jù)所述信號(hào)控制所述放水閥的開閉。
9.如權(quán)利要求8所述的排氣管路，其特征在于，所述水阻偵測(cè)管為U型管，所述電阻率計(jì)設(shè)于所述U型管的底部。
10.一種制程設(shè)備，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-9中任一項(xiàng)所述的排氣管路。
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