[實用新型]一種承片臺及全自動探針臺

有效

• 申請號: 201920202616.5
• 申請日: 2019-02-16
• 公開（公告）號: CN209858608U
• 公開（公告）日: 2019-12-27
• 發明（設計）人: 林生財;劉振輝;王勝利
• 申請（專利權）人: 深圳市矽電半導體設備有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種承片臺。所述承片臺包括底部、第一支撐板、第二支撐板和放片部；所述放片部設置有第一貫通孔，沿所述第一貫通孔設置有定位環槽；所述定位環槽通過第一支撐板連接于底部，所述定位環槽通過第二支撐板連接于底部，所述放片部與底部形成測試空間；將固定雙面晶片的定位夾具沿所述定位環槽固定，使所述雙面晶片固定于所述承片臺，測試探針通過測試空間對雙面晶片進行導通，從而滿足對雙面晶片兩側同時電接觸的測試要求。

技術領域

本實用新型涉及一種承片臺及全自動探針臺。

背景技術

雙面晶片為兩側分別為一個電極的晶片，實現對雙面晶片的測試關鍵要解決承片臺的問題，常規的單側扎針測試的承片臺采用雙側分別扎針測試，將雙面晶片放置于常規的半導體測試設備，兩面分別測試，這樣測試的測試效率低，以及由于分別測試造成電性參數不穩定，難以直接獲取雙面晶粒的電參數狀況。

實用新型內容

為解決雙面晶片的測試問題，本實用新型提出一種承片臺、全自動探針臺、自動上料方法及自動下料方法。

本實用新型的技術方案為：所述承片臺包括底部、第一支撐板、第二支撐板和放片部；

所述放片部設置有第一貫通孔，沿所述第一貫通孔設置有定位環槽；所述定位環槽通過第一支撐板連接于底部，所述定位環槽通過第二支撐板連接于底部，所述放片部與底部形成測試空間；

將固定雙面晶片的定位夾具沿所述定位環槽固定，使所述雙面晶片固定于所述承片臺，測試探針通過測試空間對雙面晶片進行導通，從而滿足對雙面晶片兩側同時電接觸的測試要求。

進一步的，所述定位環槽設置有定位凸起，所述定位夾具設置有定位孔，所述定位凸起容納于所述定位孔。

進一步的，所述底部還包括，

滑動連接部，連接于基板，使所述承片臺能夠相對于所述基板運動；

轉動連接部，轉動連接于滑動連接部，所述第一支撐板和第二支撐板分別連接于所述轉動連接部，使放片部能夠相對于所述滑動連接部旋轉；

轉動調節部，同時連接于滑動連接部和轉動連接部，通過所述轉動調節部調節所述轉動連接部相對于所述滑動連接部轉動。

進一步的，所述轉動調節部包括，

第一驅動部，固定于滑動連接部；

止抵塊，滑動連接于滑動連接部；所述止抵塊連接于第一驅動部的輸出軸，使所述第一驅動部驅動所述止抵塊相對于滑動連接部運動；

定位彈簧，同時連接于滑動連接部和轉動連接部，使轉動連接部止抵于止抵塊，實現通過調節止抵塊的位置改變轉動連接部的轉動位置。

進一步的，所述止抵塊連接有絲桿，并通過直線滑軌連接于滑動連接部；通過調節絲桿的旋轉實現所述止抵塊沿直線滑軌的運動；

所述第一驅動部的輸出軸與絲桿通過同步帶連接，實現所述第一驅動部控制連接于止抵塊的絲桿轉動。

進一步的，所述第一支撐板安裝有第一旋轉壓緊氣缸，所述第二支撐板安裝有第二旋轉壓緊氣缸，所述第一旋轉壓緊氣缸和第二旋轉壓緊氣缸用于將定位夾具固定于放片部。

一種全自動探針臺，包括上述的承片臺，所述全自動探針臺還包括，

基板；

第一支撐架和第二支撐架；

安裝板通過第一支撐架連接于基板，安裝板通過第二支撐架連接于基板；所述安裝板正對應所述基板，所述安裝板位于所述基板上方；所述安裝板設置有放料孔；

第一放料部和第二放料部；