[實用新型]一種承片臺及全自動探針臺

有效

• 申請號: 201920202616.5
• 申請日: 2019-02-16
• 公開（公告）號: CN209858608U
• 公開（公告）日: 2019-12-27
• 發明（設計）人: 林生財;劉振輝;王勝利
• 申請（專利權）人: 深圳市矽電半導體設備有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種承片臺（50），其特征在于：所述承片臺（50）包括底部（51）、第一支撐板（521）、第二支撐板（522）和放片部（53）；

所述放片部（53）設置有第一貫通孔（531），沿所述第一貫通孔（531）設置有定位環槽（532）；所述定位環槽（532）通過第一支撐板（521）連接于底部（51），所述定位環槽（532）通過第二支撐板（522）連接于底部（51），所述放片部（53）與底部（51）形成測試空間（54）；

將固定雙面晶片的定位夾具（A）沿所述定位環槽（532）固定，使所述雙面晶片固定于所述承片臺（50），測試探針通過測試空間（54）對雙面晶片進行導通，從而滿足對雙面晶片兩側同時電接觸的測試要求。

2.根據權利要求1所述的承片臺（50），其特征在于：所述定位環槽（532）設置有定位凸起（5321），所述定位夾具（A）設置有定位孔（A1），所述定位凸起（5321）容納于所述定位孔（A1）。

3.根據權利要求1所述的承片臺（50），其特征在于：所述底部（51）還包括，

滑動連接部（511），連接于基板（20），使所述承片臺（50）能夠相對于所述基板（20）運動；

轉動連接部（512），轉動連接于滑動連接部（511），所述第一支撐板（521）和第二支撐板（522）分別連接于所述轉動連接部（512），使放片部（53）能夠相對于所述滑動連接部（511）旋轉；

轉動調節部（513），同時連接于滑動連接部（511）和轉動連接部（512），通過所述轉動調節部（513）調節所述轉動連接部（512）相對于所述滑動連接部（511）轉動。

4.根據權利要求3所述的承片臺（50），其特征在于：所述轉動調節部（513）包括，

第一驅動部（5131），固定于滑動連接部（511）；

止抵塊（5132），滑動連接于滑動連接部（511）；所述止抵塊（5132）連接于第一驅動部（5131）的輸出軸，使所述第一驅動部（5131）驅動所述止抵塊（5132）相對于滑動連接部（511）運動；

定位彈簧（5133），同時連接于滑動連接部（511）和轉動連接部（512），使轉動連接部（512）止抵于止抵塊（5132），實現通過調節止抵塊（5132）的位置改變轉動連接部（512）的轉動位置。

5.根據權利要求4所述的承片臺（50），其特征在于：所述止抵塊（5132）連接有絲桿，并通過直線滑軌連接于滑動連接部（511）；通過調節絲桿的旋轉實現所述止抵塊（5132）沿直線滑軌的運動；

所述第一驅動部（5131）的輸出軸與絲桿通過同步帶連接，實現所述第一驅動部（5131）控制連接于止抵塊（5132）的絲桿轉動。

6.根據權利要求1所述的承片臺（50），其特征在于：所述第一支撐板（521）安裝有第一旋轉壓緊氣缸（5211），所述第二支撐板（522）安裝有第二旋轉壓緊氣缸（5221），所述第一旋轉壓緊氣缸（5211）和第二旋轉壓緊氣缸（5221）用于將定位夾具（A）固定于放片部（53）。