[實用新型]一種連續性卷對卷真空鍍膜機

有效

• 申請號: 201920192213.7
• 申請日: 2019-02-12
• 公開（公告）號: CN209584358U
• 公開（公告）日: 2019-11-05
• 發明（設計）人: 李正平;李成林
• 申請（專利權）人: 浙江德佑新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/32;C23C14/56
• 代理公司: 北京易捷勝知識產權代理事務所(普通合伙) 11613
• 代理人: 韓國勝

本實用新型涉及真空鍍膜技術領域，尤其涉及一種連續性卷對卷真空鍍膜機。該真空鍍膜機，包括第一鍍膜腔室、第二鍍膜腔室和輸送腔室，第一鍍膜腔室中包含蒸發舟和蒸發擋板，所述第二鍍膜腔室內包含陰極電弧蒸發源、陰極管和第二遮陰網，輸送腔室內包含推送裝置、卷繞裝置和第一遮陰網，所述推送裝置包括第一推送裝置、第二推送裝置、推送桿和圓柱形鋼腹板，所述第一鍍膜腔室與所述輸送腔室之間設置有隔板，其中所述隔板與所述輸送腔室密閉連接。本實用新型將有機氣相沉積以及真空蒸發鍍兩種工藝相結合，且加入了卷繞裝置，鍍膜效率大大提高，解決了柔性光電薄膜生產效率不足的問題。

技術領域

本實用新型涉及真空鍍膜技術領域，尤其涉及一種連續性卷對卷真空鍍膜機。

背景技術

近年來，柔性基底薄膜的應用越來越廣泛，隨著光電技術的發展，對柔性光電薄膜的生產效率和質量要求也逐漸提高。傳統的光電薄膜的鍍膜過程多使用單一方法，如磁控濺射、化學氣相沉積等，生產效率緩慢，遠遠無法滿足市場需求。在鍍膜設備方面，卷繞式鍍膜設備因為其高效的生產效率以及能制備柔性薄膜的優異特性而逐漸受到人們的關注，但由于鍍紙和塑膜工藝對機器要求不同，針對不同的薄膜類型，需要生產專門的鍍紙和鍍塑膜機器。

實用新型內容

(一)要解決的技術問題

為了解決現有技術的上述問題，本實用新型提供了一種連續性卷對卷真空鍍膜機，使有機氣相沉積及真空蒸發這兩種鍍膜工藝可在一臺鍍膜機上完成。

(二)技術方案

為了達到上述目的，本實用新型采用的主要技術方案包括：

本實用新型提供了一種連續性卷對卷真空鍍膜機，該鍍膜機包括第一鍍膜腔室、第二鍍膜腔室和輸送腔室，所述第一鍍膜腔室中包含蒸發舟和蒸發擋板，所述第二鍍膜腔室內包含陰極電弧蒸發源、陰極管和第二遮陰網，輸送腔室內包含推送裝置、卷繞裝置和第一遮陰網，所述推送裝置包括第一推送裝置、第二推送裝置、推送桿和圓柱形鋼腹板。

所述第一鍍膜腔室與所述輸送腔室之間設置有隔板，其中所述隔板與所述輸送腔室密閉連接，所述第二鍍膜腔室與所述輸送腔室之間連接有電磁閘閥。

根據本實用新型，所述第一鍍膜腔室底面設置有4或6個蒸發舟，所述蒸發舟呈圓周均勻分布。

根據本實用新型，所述第一鍍膜腔室外部依次串聯有主泵及前級泵，其中第一鍍膜腔室與主泵之間、主泵與前級泵之間均設置有通斷閥。

根據本實用新型，所述第二鍍膜腔室為圓柱筒結構，包括有3根陰極管，所述陰極管呈正三角形排列，垂直穿過圓柱筒的圓形端面，所述陰極管長度為250-300mm，直徑為20-30mm，所述陰極管外部由石英包裹，內部有陰極電弧蒸發源。

根據本實用新型，所述第二鍍膜腔室內部配備有維持泵，外部連接有氣瓶，所述氣瓶與所述第二鍍膜腔室之間設置有旋塞閥，所述旋塞閥設置在所述陰極管的端口位置。

根據本實用新型，所述隔板的中心位置設有通氣口，所述通氣口正上方設置有第一遮陰網，所述通氣口的正下方設置有所述蒸發擋板，所述蒸發擋板與所述隔板間存在間隙，所述蒸發擋板通過豎直放置的支撐細桿固定連接在在所述第一鍍膜腔室的底板上。

根據本實用新型，所述第一推送裝置和所述第二推送裝置平行放置，且與圓柱形鋼腹板固定連接，所述圓柱形鋼腹板側端面固定連接有第二遮陰網，所述第二遮陰網與所述第二推送裝置之間保持±0.1mm的平行度及20mm的距離。

根據本實用新型，所述第一推送裝置、所述第二推送裝置均為中間平、兩側彎曲結構，厚度為30-100μm，彎曲弧度半徑為100mm，結構表面設有SiO₂光潔涂層。