[實用新型]一種連續性卷對卷真空鍍膜機

有效

• 申請號: 201920192213.7
• 申請日: 2019-02-12
• 公開（公告）號: CN209584358U
• 公開（公告）日: 2019-11-05
• 發明（設計）人: 李正平;李成林
• 申請（專利權）人: 浙江德佑新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/32;C23C14/56
• 代理公司: 北京易捷勝知識產權代理事務所(普通合伙) 11613
• 代理人: 韓國勝

1.一種連續性卷對卷真空鍍膜機，其特征在于：

包括第一鍍膜腔室(14)、第二鍍膜腔室(3)和輸送腔室(6)，所述第一鍍膜腔室(14)中包含蒸發舟(13)和蒸發擋板(12)，所述第二鍍膜腔室(3)內包含陰極電弧蒸發源(1)、陰極管(2)和第二遮陰網(20)，輸送腔室(6)內包含推送裝置、卷繞裝置和第一遮陰網(11)，所述推送裝置包括第一推送裝置(5)、第二推送裝置(19)、推送桿(8)和圓柱形鋼腹板(17)；

所述第一鍍膜腔室(14)與所述輸送腔室(6)之間設置有隔板(15)，其中所述隔板(15)與所述輸送腔室(6)密閉連接，所述第二鍍膜腔室(3)與所述輸送腔室(6)之間連接有電磁閘閥(4)。

2.根據權利要求1所述的連續性卷對卷真空鍍膜機，其特征在于：

所述第一鍍膜腔室(14)底面設置有4或6個蒸發舟(13)，所述蒸發舟(13)呈圓周均勻分布。

3.根據權利要求1所述的連續性卷對卷真空鍍膜機，其特征在于：

所述第一鍍膜腔室(14)外部依次串聯有主泵及前級泵，其中第一鍍膜腔室(14)與主泵之間、主泵與前級泵之間均設置有通斷閥。

4.根據權利要求1所述的連續性卷對卷真空鍍膜機，其特征在于：

所述第二鍍膜腔室(3)為圓柱筒結構，包括有3根陰極管(2)，所述陰極管(2)呈正三角形排列，垂直穿過圓柱筒的圓形端面；

所述陰極管(2)長度為250-300mm，直徑為20-30mm，所述陰極管(2)外部由石英包裹，內部有陰極電弧蒸發源(1)。

5.根據權利要求1所述的連續性卷對卷真空鍍膜機，其特征在于：

所述第二鍍膜腔室(3)內部配備有維持泵，外部連接有氣瓶，所述氣瓶與所述第二鍍膜腔室(3)之間設置有旋塞閥(21)，所述旋塞閥(21)設置在所述陰極管(2)的端口位置。

6.根據權利要求1所述的連續性卷對卷真空鍍膜機，其特征在于：

所述隔板(15)的中心位置設有通氣口，所述通氣口正上方設置有第一遮陰網(11)，所述通氣口的正下方設置有所述蒸發擋板(12)，所述蒸發擋板(12)與所述隔板(15)間存在間隙，所述蒸發擋板(12)通過豎直放置的支撐細桿固定連接在所述第一鍍膜腔室(14)的底板上。

7.根據權利要求1所述的連續性卷對卷真空鍍膜機，其特征在于：

所述第一推送裝置(5)和所述第二推送裝置(19)平行放置，且與圓柱形鋼腹板(17)固定連接，所述圓柱形鋼腹板(17)側端面固定連接有第二遮陰網(20)，所述第二遮陰網(20)與所述第二推送裝置(19)之間保持±0.1mm的平行度及20mm的距離。

8.根據權利要求1所述的連續性卷對卷真空鍍膜機，其特征在于：

所述第一推送裝置(5)、所述第二推送裝置(19)均為中間平、兩側彎曲結構，厚度為30-100μm，彎曲弧度半徑為100mm，結構表面設有SiO₂光潔涂層。

9.根據權利要求1所述的連續性卷對卷真空鍍膜機，其特征在于：

所述推送桿(8)與所述第一推送裝置(5)、所述第二推送裝置(19)垂直，并與第一推送裝置(5)、第二推送裝置(19)固定連接，所述推送桿(8)直徑100-150mm，長度可調節范圍為1-2m，所述推送桿(8)內部還設有U型水冷管(9)，所述U型水冷管(9)的直徑為40-60mm。

10.根據權利要求1-9任意一項所述的連續性卷對卷真空鍍膜機，其特征在于：

所述卷繞裝置包含起卷輥(10)、退卷輥(7)、多個導輥(16)，所述導輥(16)包括第一導輥、第二導輥和第三導輥，各卷輥包括起卷輥(10)、退卷輥(7)和多個導輥(16)的直徑均相同，直徑為150-250mm，各卷輥表面采用Al₂O₃/TiO₂納米復合涂料，涂料厚度為50μm。