[實用新型]一種鑲嵌層疊式XYZ三維動態微驅動裝置

有效

• 申請號: 201920185563.0
• 申請日: 2019-02-01
• 公開（公告）號: CN209434160U
• 公開（公告）日: 2019-09-24
• 發明（設計）人: 陳文華;高健;張攬宇;張金迪;鐘永彬;劉亞超;王曉亮;梁俊朗;鐘耿君
• 申請（專利權）人: 廣東工業大學
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 羅滿

1.一種鑲嵌層疊式XYZ三維動態微驅動裝置，其特征在于，包括底板(1)，設于所述底板(1)上方、用以補償終端平臺(8)的Y軸方向微位移的Y向精密補償單元，以及自上至下貫穿于所述底板(1)和所述Y向精密補償單元、用以補償所述終端平臺(8)的X軸方向微位移的X向精密補償單元；還包括固設于所述X向精密補償單元內部、且固設于終端平臺(8)的下表面、用以補償所述終端平臺(8)的Z軸方向微位移的Z向精密補償單元；

還包括用以讀取X軸、Y軸和Z軸方向位移的讀取單元，以及用以分別向所述X向精密補償單元、所述Y向精密補償單元和所述Z向精密補償單元發送X向、Y向和Z向控制信號，以及接收來自于所述讀取單元的讀取信號、以分別控制所述X向精密補償單元、所述Y向精密補償單元及所述Z向精密補償單元運行的工控機(9)。

2.根據權利要求1所述的鑲嵌層疊式XYZ三維動態微驅動裝置，其特征在于，所述底板(1)的中心處開設有用以供所述X向精密補償單元穿過的底板方形通孔，所述底板(1)的上表面固設有相對設置的一對底板凸塊(11)。

3.根據權利要求2所述的鑲嵌層疊式XYZ三維動態微驅動裝置，其特征在于，所述Y向精密補償單元包括：

Y向微動臺(2)，中心處設有用以供所述X向精密補償單元穿過的Y向方形通孔，Y向微動臺(2)的上表面固設有相對設置的一對Y向凸塊(21)，Y向微動臺(2)的底面固設有相對設置的一對Y向安裝塊(22)；

Y向高剛壓縮彈簧(23)，套裝于所述底板凸塊(11)；

Y向伸縮裝置(24)，與所述底板凸塊(11)相抵，用以當所述Y向伸縮裝置(24)接收到來自于所述工控機(9)的控制信號后進行伸縮運動；

Y向預緊螺母(25)，用以向所述Y向高剛壓縮彈簧(23)施加預緊力；

Y向滑塊(26)及Y向滑軌，所述Y向滑塊(26)安裝于所述Y向微動臺(2)的下底面；

兩個所述Y向凸塊(21)、所述Y向預緊螺母(25)及所述Y向伸縮裝置(24)分設于所述Y向方形通孔的四周。

4.根據權利要求3所述的鑲嵌層疊式XYZ三維動態微驅動裝置，其特征在于，所述X向精密補償單元包括：

X向微動臺(31)，中心處開設有用以供所述Z向精密補償單元穿過的X向方形通孔；

X向高剛壓縮彈簧(32)，套裝于彈簧導柱上；

X向伸縮裝置(33)，與所述Y向凸塊(21)相抵，用以當接收到來自于所述工控機(9)的控制信號后進行伸縮運動；

X向預緊螺母(34)，安裝于所述X向微動臺(31)、用以向所述X向高剛壓縮彈簧(32)施加預緊力；

X向安裝塊(35)及X向交叉滾子導軌(36)，所述X向安裝塊安裝于所述X向微動臺(31)的下底面，所述X向交叉滾子導軌(36)滑動安裝于所述X向交叉滾子導軌(36)。

5.根據權利要求4所述的鑲嵌層疊式XYZ三維動態微驅動裝置，其特征在于，所述X向微動臺(31)包括水平安裝部(311)和豎直貫穿部(312)，所述水平安裝部(311)用以安裝所述X向伸縮裝置(33)及所述X向預緊螺母(34)，所述豎直貫穿部(312)與所述水平安裝部(311)為一體式結構。

6.根據權利要求4所述的鑲嵌層疊式XYZ三維動態微驅動裝置，其特征在于，所述Z向精密補償單元包括：

倒T型推桿(41)，安裝于所述終端平臺(8)的下底面；

Z向預緊螺母(42)，套裝于所述倒T型推桿(41)；

Z向高剛壓縮彈簧(43)，套設于所述倒T型推桿(41)上，其上端與所述Z向預緊螺母(42)相抵；

套筒(44)，所述套筒(44)設有用以供所述倒T型推桿(41)滑動的滑動腔；

Z向伸縮裝置(45)，安裝于所述滑動腔中、與所述倒T型推桿(41)的下底面相抵、用以推動所述倒T型推桿(41)進而推動所述終端平臺(8)運動。

7.根據權利要求6所述的鑲嵌層疊式XYZ三維動態微驅動裝置，其特征在于，所述X向伸縮裝置(33)、所述Y向伸縮裝置(24)、所述Z向伸縮裝置(45)具體為壓電陶瓷。