[實(shí)用新型]攪拌裝置及晶體生長設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920168877.X
• 申請日: 2019-01-30
• 公開（公告）號: CN209663071U
• 公開（公告）日: 2019-11-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張金政;萬躍鵬
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇協(xié)鑫硅材料科技發(fā)展有限公司
• 主分類號: B01F7/00
• 分類號: B01F7/00;B01F15/00;C30B29/06;C30B35/00
• 代理公司: 44224 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 唐清凱<國際申請>=<國際公布>=<進(jìn)入

本實(shí)用新型涉及一種攪拌裝置及晶體生長設(shè)備。攪拌裝置包括：電機(jī)組件，包括電機(jī)及伸出所述電機(jī)的輸出軸；傳動軸，與所述輸出軸連接；密封組件，套設(shè)于所述傳動軸；攪拌件，與所述傳動軸連接。上述技術(shù)方案至少具有以下技術(shù)效果：攪拌裝置安裝于晶體生長設(shè)備，攪拌件伸入生長爐的爐內(nèi)排氣管中，隨著攪拌件的不斷攪動，能夠很大程度上減少粉塵、氧化物和其他雜質(zhì)等遇冷沉積在爐內(nèi)排氣管內(nèi)，防止雜質(zhì)堵塞爐內(nèi)排氣管。此外，密封組件用于安裝后避免氣體與電機(jī)組件接觸，防止氣體對電機(jī)組件造成侵蝕等損害，提高電機(jī)組件的使用壽命。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶體硅制備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種攪拌裝置及晶體生長設(shè)備。

背景技術(shù)

晶體生長設(shè)備用來制備多晶硅或單晶硅，在晶體硅生產(chǎn)制備的過程中，連續(xù)均勻地向晶體生長設(shè)備的爐膛內(nèi)通入惰性氣體(一般采用高純度的氬氣)，同時，真空泵通過排氣孔不斷地從爐膛內(nèi)向外抽氣，保持爐膛內(nèi)的真空度穩(wěn)定在特定的壓力環(huán)境下(負(fù)壓)。在晶體硅的生長過程中，向爐膛內(nèi)通入的惰性氣體氣流自上而下地貫穿整個晶體硅的生長區(qū)域，能夠及時地帶走由于高溫而產(chǎn)生出來的硅氧化物和雜質(zhì)揮發(fā)物，以確保晶體硅的品質(zhì)。

傳統(tǒng)的整個晶體硅生產(chǎn)制備的過程中，隨著時間的增加，爐內(nèi)會產(chǎn)生大量的粉塵、氧化物和其他雜質(zhì)等，以上雜質(zhì)均伴隨抽氣動作順著氣流由排氣孔流入排氣管排出。

在實(shí)現(xiàn)傳統(tǒng)技術(shù)的過程中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)：雜質(zhì)在遇冷后容易沉積在排氣管內(nèi)，堵塞排氣管，影響晶體硅的品質(zhì)。

實(shí)用新型內(nèi)容

基于此，有必要針對雜質(zhì)在遇冷后容易沉積在排氣管內(nèi)，堵塞排氣管，影響晶體硅的品質(zhì)的問題，提供一種攪拌裝置及晶體生長設(shè)備。

本實(shí)用新型提供一種攪拌裝置，包括：電機(jī)組件，包括電機(jī)及伸出所述電機(jī)的輸出軸；傳動軸，與所述輸出軸連接；密封組件，套設(shè)于所述傳動軸；攪拌件，與所述傳動軸連接。

上述技術(shù)方案至少具有以下技術(shù)效果：本技術(shù)方案所提供的攪拌裝置，由電機(jī)驅(qū)動輸出軸，經(jīng)輸出軸帶動傳動軸轉(zhuǎn)動，傳動軸帶動攪拌件轉(zhuǎn)動，攪拌裝置安裝于晶體生長設(shè)備，攪拌件伸入生長爐的爐內(nèi)排氣管中，隨著攪拌件的不斷攪動，能夠很大程度上減少粉塵、氧化物和其他雜質(zhì)等遇冷沉積在爐內(nèi)排氣管內(nèi)，防止雜質(zhì)堵塞爐內(nèi)排氣管。此外，密封組件用于在攪拌裝置安裝時，將攪拌件隔離在爐內(nèi)排氣管內(nèi)，同時與用于將氣體引導(dǎo)排出的其他排氣管密封固定，即氣體自爐內(nèi)排氣管經(jīng)由其他排氣管排出生長爐，避免氣體與電機(jī)組件接觸，防止氣體對電機(jī)組件造成侵蝕等損害，提高電機(jī)組件的使用壽命。

在其中一個實(shí)施例中，還包括第一聯(lián)軸器和第二聯(lián)軸器，所述第一聯(lián)軸器連接于所述輸出軸和所述傳動軸之間，所述第二聯(lián)軸器連接于所述傳動軸和所述攪拌件之間。

在其中一個實(shí)施例中，所述電機(jī)組件還包括電機(jī)固定架，所述電機(jī)固定架的一端與所述電機(jī)固定，另一端與所述密封組件固定。

在其中一個實(shí)施例中，所述密封組件包括固定座和密封件，所述密封件貫穿所述固定座，并套設(shè)于所述傳動軸。

在其中一個實(shí)施例中，還包括與所述密封組件連接的攪拌支架，所述攪拌支架具有限位環(huán)，所述攪拌件貫穿所述限位環(huán)。

本實(shí)用新型提供一種晶體生長設(shè)備，包括：生長爐，所述生長爐開設(shè)有排氣孔；爐內(nèi)排氣管，穿過所述排氣孔以連通所述生長爐內(nèi)外；第一多通排氣管，與所述爐內(nèi)排氣管連通且二者之間的連接處密封；如上任一實(shí)施例所述的攪拌裝置，通過所述密封組件與所述第一多通排氣管密封連接，且所述攪拌件伸入到所述第一多通排氣管和所述爐內(nèi)排氣管中。