[實用新型]攪拌裝置及晶體生長設備有效
| 申請號: | 201920168877.X | 申請日: | 2019-01-30 |
| 公開(公告)號: | CN209663071U | 公開(公告)日: | 2019-11-22 |
| 發明(設計)人: | 張金政;萬躍鵬 | 申請(專利權)人: | 江蘇協鑫硅材料科技發展有限公司 |
| 主分類號: | B01F7/00 | 分類號: | B01F7/00;B01F15/00;C30B29/06;C30B35/00 |
| 代理公司: | 44224 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 | 代理人: | 唐清凱<國際申請>=<國際公布>=<進入 |
| 地址: | 221001 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 電機組件 攪拌裝置 傳動軸 攪拌件 排氣管 爐內 晶體生長設備 密封組件 電機 本實用新型 輸出軸連接 技術效果 使用壽命 雜質堵塞 攪動 生長爐 輸出軸 氧化物 伸入 沉積 粉塵 伸出 侵蝕 損害 | ||
1.一種攪拌裝置,其特征在于,包括:
電機組件,包括電機及伸出所述電機的輸出軸;
傳動軸,與所述輸出軸連接;
密封組件,套設于所述傳動軸;
攪拌件,與所述傳動軸連接。
2.根據權利要求1所述的攪拌裝置,其特征在于,還包括第一聯軸器和第二聯軸器,所述第一聯軸器連接于所述輸出軸和所述傳動軸之間,所述第二聯軸器連接于所述傳動軸和所述攪拌件之間。
3.根據權利要求1所述的攪拌裝置,其特征在于,所述電機組件還包括電機固定架,所述電機固定架的一端與所述電機固定,另一端與所述密封組件固定。
4.根據權利要求1所述的攪拌裝置,其特征在于,所述密封組件包括固定座和密封件,所述密封件貫穿所述固定座,并套設于所述傳動軸。
5.根據權利要求1所述的攪拌裝置,其特征在于,還包括與所述密封組件連接的攪拌支架,所述攪拌支架具有限位環,所述攪拌件貫穿所述限位環。
6.一種晶體生長設備,其特征在于,包括:
生長爐,所述生長爐開設有排氣孔;
爐內排氣管,穿過所述排氣孔以連通所述生長爐內外;
第一多通排氣管,與所述爐內排氣管連通且二者之間的連接處密封;
如權利要求1至5任一項所述的攪拌裝置,通過所述密封組件與所述第一多通排氣管密封連接,且所述攪拌件伸入到所述第一多通排氣管和所述爐內排氣管中。
7.根據權利要求6所述的晶體生長設備,其特征在于,所述排氣孔設有多個,所述攪拌裝置相對應地也設有多個,所述第一多通排氣管也相對應地設有多個;
所述晶體生長設備還包括第二多通排氣管,所述第二多通排氣管同時與多個所述第一多通排氣管分別連通。
8.根據權利要求7所述的晶體生長設備,其特征在于,所述第一多通排氣管與所述第二多通排氣管之間通過彎頭管和/或波紋管連通。
9.根據權利要求7所述的晶體生長設備,其特征在于,所述第二多通排氣管包括過濾器連接口,所述爐內排氣管排出的氣體自所述過濾器連接口經由過濾器排出。
10.根據權利要求7所述的晶體生長設備,其特征在于,所述第二多通排氣管還包括防爆閥連接口和檢修口。
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