[實(shí)用新型]一種自動(dòng)化硅片清洗換液機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920168289.6
• 申請(qǐng)日: 2019-01-30
• 公開（公告）號(hào): CN209697579U
• 公開（公告）日: 2019-11-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李志強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無錫中環(huán)應(yīng)用材料有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/02
• 分類號(hào): B08B3/02;B08B3/04;B08B3/14;H01L21/67
• 代理公司: 32228 無錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 馮智文<國際申請(qǐng)>=<國際公布>=<進(jìn)入

本實(shí)用新型涉及硅片清洗技術(shù)領(lǐng)域，尤其為一種自動(dòng)化硅片清洗換液機(jī)，包括殼體和浸泡箱，其特征在于：所述殼體的內(nèi)側(cè)固定連接有浸泡箱，所述浸泡箱的內(nèi)側(cè)固定連接有固定板，所述固定板的右側(cè)設(shè)有沖洗箱，且沖洗箱的外側(cè)與殼體的內(nèi)側(cè)固定連接，所述殼體的頂端左右兩側(cè)均固定連接有支撐桿，所述支撐桿的底端固定連接有齒板，所述齒板的頂端嚙合有齒輪，所述齒輪的前后兩端均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有滑動(dòng)架，所述滑動(dòng)架的底端固定連接有電機(jī)，所述電機(jī)的底端固定連接有氣缸，本實(shí)用新型中，通過設(shè)置的電動(dòng)伸縮桿、連桿和夾持板實(shí)現(xiàn)自動(dòng)將硅片置于浸泡箱內(nèi)并自動(dòng)撈出，避免清洗液腐蝕從業(yè)者的手部皮膚，有利于保護(hù)工作人員的工作安全。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及硅片清洗技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種自動(dòng)化硅片清洗換液機(jī)。

背景技術(shù)

硅片是制作集成電路的重要材料，通過對(duì)硅片進(jìn)行光刻、離子注入等手段，可以制成各種半導(dǎo)體器件，用硅片制成的芯片有著驚人的運(yùn)算能力，科學(xué)技術(shù)的發(fā)展不斷推動(dòng)著半導(dǎo)體的發(fā)展，自動(dòng)化和計(jì)算機(jī)等技術(shù)發(fā)展，使硅片這種高技術(shù)產(chǎn)品的造價(jià)已降到十分低廉的程度，清洗端刀換液的工藝已經(jīng)跟不上線切產(chǎn)能，因此，對(duì)一種自動(dòng)化硅片清洗換液機(jī)的需求日益增長。

目前市場上存在的大部分硅片清洗換液機(jī)需要手動(dòng)將硅片置于浸泡箱內(nèi)，清洗液容易腐蝕皮膚，不利于保護(hù)工作人員的工作安全，而且傳統(tǒng)的硅片清洗換液機(jī)對(duì)硅片沖洗需要耗費(fèi)大量水資源，不利于節(jié)約用水，同時(shí)增大排污負(fù)擔(dān)，不利于環(huán)境保護(hù)，因此，針對(duì)上述問題提出一種自動(dòng)化硅片清洗換液機(jī)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種自動(dòng)化硅片清洗換液機(jī)，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

一種自動(dòng)化硅片清洗換液機(jī)，包括殼體和浸泡箱，其特征在于：所述殼體的內(nèi)側(cè)固定連接有浸泡箱，所述浸泡箱的內(nèi)側(cè)固定連接有固定板，所述固定板的右側(cè)設(shè)有沖洗箱，且沖洗箱的外側(cè)與殼體的內(nèi)側(cè)固定連接，所述殼體的頂端左右兩側(cè)均固定連接有支撐桿，所述支撐桿的底端固定連接有齒板，所述齒板的頂端嚙合有齒輪，所述齒輪的前后兩端均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有滑動(dòng)架，所述滑動(dòng)架的底端固定連接有電機(jī)，所述電機(jī)的底端固定連接有氣缸，所述氣缸的底端固定連接有電動(dòng)伸縮桿，所述電動(dòng)伸縮桿的左右兩端均固定連接有壓板，所述壓板的一端固定連接有連桿，所述連桿的外側(cè)滑動(dòng)連接有限位架，所述限位架的底端固定連接有夾持板，所述沖洗箱的內(nèi)側(cè)底端固定連接有支撐傘，所述支撐傘的內(nèi)側(cè)固定連接有水泵，所述水泵的頂端連通有噴頭，所述水泵的底端連通有導(dǎo)管，所述導(dǎo)管的后端連通有過濾筒，所述過濾筒的后端連通有回流管，且回流管的左端與沖洗箱的右端內(nèi)側(cè)連通，所述過濾筒的內(nèi)側(cè)固定連接有活性炭過濾網(wǎng)，所述殼體的外側(cè)頂端固定連接有控制器。

優(yōu)選的，所述固定板的數(shù)量為2個(gè)，且固定板的內(nèi)側(cè)開設(shè)有條形槽。

優(yōu)選的，所述電機(jī)、氣缸、電動(dòng)伸縮桿和水泵均與控制器電性連接，且支撐傘的外側(cè)呈圓錐面狀設(shè)置。

優(yōu)選的，所述夾持板由硅膠板制成，且限位架的左端面呈“回”型設(shè)置。

優(yōu)選的，所述齒板位于固定板和沖洗箱的正上方，所述電動(dòng)伸縮桿的軸線與齒板的底端面互相平行。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

1、本實(shí)用新型中，通過設(shè)置的電動(dòng)伸縮桿、連桿和夾持板實(shí)現(xiàn)自動(dòng)將硅片置于浸泡箱內(nèi)并自動(dòng)撈出，避免清洗液腐蝕從業(yè)者的手部皮膚，有利于保護(hù)工作人員的工作安全。

2、本實(shí)用新型中，通過設(shè)置的過濾筒、回流管和活性炭過濾網(wǎng)實(shí)現(xiàn)了對(duì)沖洗用水的自動(dòng)循環(huán)過濾再利用，減少?zèng)_洗用水，有利于節(jié)約用水，同時(shí)減輕排污負(fù)擔(dān)，有利于環(huán)境保護(hù)。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型整體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型齒輪的安裝結(jié)構(gòu)示意圖。