[實用新型]一種自動化硅片清洗換液機

有效

• 申請號: 201920168289.6
• 申請日: 2019-01-30
• 公開（公告）號: CN209697579U
• 公開（公告）日: 2019-11-29
• 發明（設計）人: 李志強
• 申請（專利權）人: 無錫中環應用材料有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B3/04;B08B3/14;H01L21/67
• 代理公司: 32228 無錫華源專利商標事務所(普通合伙)
• 代理人: 馮智文<國際申請>=<國際公布>=<進入

1.一種自動化硅片清洗換液機，包括殼體(1)和浸泡箱(2)，其特征在于：所述殼體(1)的內側固定連接有浸泡箱(2)，所述浸泡箱(2)的內側固定連接有固定板(3)，所述固定板(3)的右側設有沖洗箱(4)，且沖洗箱(4)的外側與殼體(1)的內側固定連接，所述殼體(1)的頂端左右兩側均固定連接有支撐桿(5)，所述支撐桿(5)的底端固定連接有齒板(6)，所述齒板(6)的頂端嚙合有齒輪(7)，所述齒輪(7)的前后兩端均轉動連接有滑動架(8)，所述滑動架(8)的底端固定連接有電機(9)，所述電機(9)的底端固定連接有氣缸(10)，所述氣缸(10)的底端固定連接有電動伸縮桿(11)，所述電動伸縮桿(11)的左右兩端均固定連接有壓板(12)，所述壓板(12)的一端固定連接有連桿(13)，所述連桿(13)的外側滑動連接有限位架(14)，所述限位架(14)的底端固定連接有夾持板(15)，所述沖洗箱(4)的內側底端固定連接有支撐傘(16)，所述支撐傘(16)的內側固定連接有水泵(17)，所述水泵(17)的頂端連通有噴頭(18)，所述水泵(17)的底端連通有導管(19)，所述導管(19)的后端連通有過濾筒(20)，所述過濾筒(20)的后端連通有回流管(21)，且回流管(21)的左端與沖洗箱(4)的右端內側連通，所述過濾筒(20)的內側固定連接有活性炭過濾網(22)，所述殼體(1)的外側頂端固定連接有控制器(23)。

2.根據權利要求1所述的一種自動化硅片清洗換液機，其特征在于：所述固定板(3)的數量為2個，且固定板(3)的內側開設有條形槽(a)。

3.根據權利要求1所述的一種自動化硅片清洗換液機，其特征在于：所述電機(9)、氣缸(10)、電動伸縮桿(11)和水泵(17)均與控制器(23)電性連接，且支撐傘(16)的外側呈圓錐面狀設置。

4.根據權利要求1所述的一種自動化硅片清洗換液機，其特征在于：所述夾持板(15)由硅膠板制成，且限位架(14)的左端面呈“回”型設置。

5.根據權利要求1所述的一種自動化硅片清洗換液機，其特征在于：所述齒板(6)位于固定板(3)和沖洗箱(4)的正上方，所述電動伸縮桿(11)的軸線與齒板(6)的底端面互相平行。