[實用新型]一種通用鍵合設備上不同線徑鍵合絲快速切換的組合夾具有效
| 申請號: | 201920167649.0 | 申請日: | 2019-01-29 |
| 公開(公告)號: | CN209461421U | 公開(公告)日: | 2019-10-01 |
| 發明(設計)人: | 陽微 | 申請(專利權)人: | 成都西科微波通訊有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/60 |
| 代理公司: | 成都正華專利代理事務所(普通合伙) 51229 | 代理人: | 何凡;李蕊 |
| 地址: | 610091 四川*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 組合夾具 鍵合絲 本實用新型 線徑 固定底座 快速切換 通用鍵 中空狀 產品生產效率 產品生產周期 鍵合設備 生產資源 導管 消耗 貫穿 應用 | ||
1.一種通用鍵合設備上不同線徑鍵合絲快速切換的組合夾具,其特征在于,所述組合夾具的內部呈中空狀,且固定于所述鍵合設備上,其中,所述組合夾具包括固定底座(1),以及貫穿于所述固定底座(1)且內部呈中空狀的鍵合絲導管(2)。
2.根據權利要求1所述的通用鍵合設備上不同線徑鍵合絲快速切換的組合夾具,其特征在于,所述鍵合絲導管(2)的總體長度為15mm,外徑為1mm,內徑為0.7mm。
3.根據權利要求2所述的通用鍵合設備上不同線徑鍵合絲快速切換的組合夾具,其特征在于,所述鍵合絲導管(2)的兩端端口均呈倒角型。
4.根據權利要求1所述的通用鍵合設備上不同線徑鍵合絲快速切換的組合夾具,其特征在于,所述固定底座(1)呈矩形結構,其長度為6mm,寬度為3mm,厚度為2mm。
5.根據權利要求4所述的通用鍵合設備上不同線徑鍵合絲快速切換的組合夾具,其特征在于,所述固定底座(1)內設有3個通孔(3),所述通孔(3)的直徑為1mm。
6.根據權利要求5所述的通用鍵合設備上不同線徑鍵合絲快速切換的組合夾具,其特征在于,所述固定底座(1)采用聚四氟乙烯制成。
7.根據權利要求1所述的通用鍵合設備上不同線徑鍵合絲快速切換的組合夾具,其特征在于,所述組合夾具與所述鍵合設備通過雙組分膠粘接。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





